Monomolecular controlled epitaxial growth technique using hypersonic H2O beam generated by a catalytic reaction

利用催化反应产生的高超音速水束的单分子控制外延生长技术

• 批准号: 16H03869
• 负责人: Yasui Kanji
• 金额: $ 10.57万
• 依托单位: Nagaoka University of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2020-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H03869/
• 关键词: 触媒反応; ハイパーソニックビーム; エピタキシャル成長; 金属酸化物; 化学気相堆積法; 酸化亜鉛; 金属酸化物薄膜; 化学気相成長法; 単分子層成長制御

项目成果

Nitrogen doping of ZnO films using Ir hot-wire in catalytic reaction-assisted CVD

催化反应辅助 CVD 中使用 Ir 热丝氮掺杂 ZnO 薄膜

• 发表时间: 2018
• 作者: Y. Adachi;S. Ono;A. Kato;A. M. Hashim;K. Yasui
• 通讯作者: K. Yasui

白金ナノ粒子表面で生成した高エネルギー水分子を用いた金属酸化物薄膜の成長

利用铂纳米颗粒表面产生的高能水分子生长金属氧化物薄膜

• 发表时间: 2016
• 作者: R. Tajima;Y. Teraguchi;Y. Tamayama;K. Yasui;安井寛治
• 通讯作者: 安井寛治

Monomolecular layer controlled deposition of ZnO thin films using a pulsed valve by catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition

利用脉冲阀催化反应辅助化学气相沉积单分子层控制沉积 ZnO 薄膜

• 发表时间: 2018
• 作者: T. Saito;S. Ono;A. M. Hashim;K. Yasui
• 通讯作者: K. Yasui

Polarization properties of nonpolar ZnO films grown on R-sapphire substrates using high-temperature H2O generated by a catalytic reaction

使用催化反应产生的高温 H2O 在 R 蓝宝石基底上生长非极性 ZnO 薄膜的偏振特性

• DOI: 10.1016/j.tsf.2017.06.062
• 发表时间: 2017
• 期刊: Thin Solid Films
• 影响因子: 2.1
• 作者: Ariyuki Kato;Shotaro Ono;Munenori Ikeda;Ryouichi Tajima;Yudai Adachi;Kanji Yasui
• 通讯作者: Kanji Yasui

Growth characteristics of ZnO thin films produced via catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition

催化反应辅助化学气相沉积ZnO薄膜的生长特性

• DOI: 10.1116/1.5079526
• 发表时间: 2019
• 期刊: Journal of Vacuum Science and Technology A
• 影响因子: 2.9
• 作者: T. Saito;R. Iba;S. Ono;G. Imada;K. Yasui
• 通讯作者: K. Yasui