Wide range radical production by atmospheric pressure microwave plasma with molecular gas and applications

大气压微波等离子体与分子气体的宽范围自由基生产及其应用

基本信息

  • 批准号：
    16H03893
  • 负责人：
    Toyoda Hirotaka
  • 金额：
    $ 11.07万
  • 依托单位：
    Nagoya University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份：
    2016
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2016-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量（0）
Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge
大气压微波放电间隙中截面等离子体结构的观察
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Koga Kazunori;Seo Hyunwoong;Tanaka Akiyo;Itagaki Naho;Shiratani Masaharu;Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki
  • 通讯作者：
    Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki
High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma
使用槽激发常压微波 O2/CF4 等离子体高速去除光刻胶
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Shota Ishikaw;Haruka Suzuki;Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda
  • 通讯作者：
    Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda
大面積かつ高速表面処理のための大気圧プラズマ装置開発
大面积高速表面处理常压等离子设备的研制
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    H. Nakagawa;K. Mochizuki;T. Arikawa;T. Terao;A. Koike;T. Nakano;and T. Aoki;T. Kaneko，T. Akama，W. Okita，C. Li，and T. Kato;鈴木　陽香
  • 通讯作者：
    鈴木　陽香
Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure
大气压下大规模 N2 线等离子体生产
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Haruka Suzuki;Yuto Tamura;Yaoki Inomata;Hitoshi Itoh;Makoto Sekine;Masaru Hori;and Hirotaka Toyoda
  • 通讯作者：
    and Hirotaka Toyoda
改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成
使用改进的波导和连续波微波功率高效生成米级长大气压线等离子体
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    鈴木 陽香，田村 宥人，猪俣 弥雄起;伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝
  • 通讯作者：
    伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝
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    Kyuzo Manabu;Chiba Yukinori;Suzuki Haruka;Toyoda Hirotaka
  • 通讯作者：
    Toyoda Hirotaka

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