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Ultra high-throughput evaluation technology for materials using integrated MEMS
使用集成MEMS的材料超高通量评估技术
基本信息
- 批准号：16H04300
- 负责人：
- 金额：$ 11.15万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2016
- 资助国家：日本
- 起止时间：2016-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
磁歪材料のコンビナトリアル探索用SOI-MEMSデバイス製作
用于磁致伸缩材料组合探索的 SOI-MEMS 器件制造
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：河合 駿;岡田 法大;湯澤 勝浩;佐々木 寛人;蟹江 慧;清田 泰次郎;清水 一憲;本多 裕之;加藤 竜司;前谷卓哉，本川侑季，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一;本川侑季，前谷卓哉，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
- 通讯作者：本川侑季，前谷卓哉，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
A new method to solve the problem of surface activated bonding
解决表面活化粘合问题的新方法
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryo Morisaki;Yuki Hirai;Junpei Sakurai;Seiichi Hata
- 通讯作者：Seiichi Hata
集積化MEMSデバイスを用いた磁歪材料のハイスループット評価（測定系の自動化と高精度化の検討）
使用集成MEMS器件的磁致伸缩材料的高通量评估（测量系统的自动化和高精度检查）
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yuki Nakagawa;Kyohei Yamada;Mizue Mizoshiri;Chiemi Oka;Junpei Sakurai;Seiichi Hata;橋本英明，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
- 通讯作者：橋本英明，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
磁歪材料ハイスループット評価用MEMS集積化ライブラリ製作(評価基板におけるめっき膜厚の均一化)
磁致伸缩材料高通量评价用MEMS综合库的制作（评价基板的镀膜厚度均匀）
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yuki Nakagawa;Kyohei Yamada;Mizue Mizoshiri;Chiemi Oka;Junpei Sakurai;Seiichi Hata;橋本英明，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一;小林義典，本川侑季，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
- 通讯作者：小林義典，本川侑季，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
Processing characteristics of reverse lift-off process
逆向剥离工艺的加工特点
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kyohei Yamada;Yuki Nakagawa;Chiemi Oka;Junpei Sakurai;Seiichi Hata
- 通讯作者：Seiichi Hata
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Hata Seiichi其他文献
CuOナノ粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法
使用CuO纳米颗粒的飞秒激光还原直写方法
- DOI：
- 发表时间：
2018 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Mizoshiri Mizue;Nishitani Kenta;Hata Seiichi;溝尻瑞枝，秦誠一 - 通讯作者：
溝尻瑞枝，秦誠一
Hata Seiichi的其他文献
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{{ truncateString('Hata Seiichi', 18)}}的其他基金
Pad type drug delivery system using soft material
使用软质材料的垫式给药系统
- 批准号：
26630095 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
相似海外基金
センサ／ＬＳＩ集積化のための荷電処理不要な静電ＭＥＭＳ振動エナジーハーベスタ
静电 MEMS 振动能量采集器，无需进行传感器/LSI 集成的电荷处理
- 批准号：
23K23197 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
ＭＥＭＳ波長可変光源の光圧ゆらぎ抑制と高精度チップスケール原子時計への展開
MEMS波长可调光源光压波动的抑制及高精度芯片级原子钟的开发
- 批准号：
24K01314 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
異種圧電材料を集積した革新的超音波ＭＥＭＳデバイスおよび高性能超音波撮像器の創出
创建集成不同类型压电材料的创新超声波 MEMS 器件和高性能超声波成像仪
- 批准号：
22KJ0232 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
任意の生体内物質の濃度変化を高感度に検出するＭＥＭＳ光干渉型バイオセンサの開発
开发高灵敏度检测任意生物物质浓度变化的MEMS光干涉型生物传感器
- 批准号：
19J12825 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
高機能ロボットハンドのための滑り覚及び力覚を有するＭＥＭＳ集積化触覚センサ
用于高性能机器人手的具有滑动和力感的 MEMS 集成触觉传感器
- 批准号：
16J04014 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
ＭＥＭＳ光スキャナ型画像ディスプレイを応用した自由空間光通信に関する研究
利用MEMS光学扫描仪型图像显示的自由空间光通信研究
- 批准号：
16J07506 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
ＭＥＭＳ技術を用いた磁歪・比透磁率のハイスループット評価
使用 MEMS 技术对磁致伸缩和相对磁导率进行高通量评估
- 批准号：
16J11594 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
歪制御した強誘電体薄膜の圧電特性とＭＥＭＳ超音波トランスデューサへの応用
应变控制铁电薄膜的压电特性及其在MEMS超声换能器中的应用
- 批准号：
15J12596 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
非線形ＭＥＭＳ共振器を用いた演算形メモリの開発
使用非线性 MEMS 谐振器开发运算存储器
- 批准号：
14J00462 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
ＭＥＭＳ ２軸力センサを用いた局所滑りの発生メカニズムの解明
使用 MEMS 两轴力传感器阐明局部滑动的机制
- 批准号：
14J05877 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 11.15万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows