A nanotechnology platform established in average science laboratories

在普通科学实验室建立的纳米技术平台

• 批准号: 16K00992
• 负责人: Nagaoka Shiro
• 金额: $ 2.58万
• 依托单位: Kagawa National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K00992/
• 关键词: Sol-Gel; 熱拡散; p-n接合; 工学教育; リソグラフィ; プロセス; デバイス; Sol-Geｌ; ｐｎ接合; 集積回路; 簡素化; 教育; Sol Gel; pn接合; MOS FET; バイポーラトランジスタ; リソグラフィー; 電子デバイス・機器

项目成果

科研費による研究成果の社会還元・普及事業へのシリコン太陽電池作製教材の応用

硅太阳能电池生产材料应用科研补助金科研成果社会回报与传播

• 发表时间: 2016
• 作者: 萩原康仁・松原憲治;大野将史・関三翠里・小椿清隆・松原憲治;谷本薫彦・荒尾真一・松原憲治;萩原康仁・松原憲治;松原憲治;後藤顕一・松原憲治;Kenji MATSUBARA・Hideo IKEDA;松原 憲治・萩原 康仁・須原愛記・山田亜紀子;大野将史・関三翠里・小椿清隆・松原憲治;谷本薫彦・荒尾真一・松原憲治;萩原康仁・松原憲治;Kenji Matsubara・Yasuhito Hagiwara・Masahumi Yamashita;Kenji MATSUBARA・Hideo IKEDA;松原 憲治・萩原 康仁・須原愛記・山田亜紀子;松原憲治;濵谷 成樹，田口 哲，井上 祥史;濵谷 成樹，田口 哲;田口 哲，渕上 哲，仲鉢大地;田口 哲，大滝優実，渕上 哲，仲鉢大地，柚木朋也;濵谷成樹,田口 哲;濵谷成樹，田口 哲;中野 智文，田口 哲;中野智文，田口 哲;田口 哲;田口 哲，渕上 哲，仲鉢大地;田口 哲・渕上 哲・仲鉢 大地;田口 哲・大滝 優実・渕上 哲・仲鉢 大地・柚木 朋也;斉藤千映美;斉藤千映美;橋本勝・伊藤勇馬・平谷萌子・斉藤千映美;黒澤巧・平谷萌子・斉藤千映美;斉藤千映美・伊藤勇馬;斉藤 千映美;斉藤千映美;斉藤千映美・渡辺孝男・鵜川義弘;斉藤千映美;斉藤千映美;辻琢人，長岡史郎，大谷真弘;辻琢人，長岡史郎，若原昭浩;加藤敦士（指導教員：辻琢人）;辻琢人，長岡史郎，若原昭浩
• 通讯作者: 辻琢人，長岡史郎，若原昭浩

Nano-SciTech Centre/Institute of Science/UiTM(マレーシア)

纳米科技中心/科学研究所/UiTM（马来西亚）

Pressure Dependence of Photoresist Removal Rate Using Hydrogen Radicals

使用氢自由基去除光刻胶速率的压力依赖性

• 发表时间: 2017
• 期刊: . Photopolym. Sci. Technol.
• 作者: M. Yamamoto;T. Shiroi;S. Nagaoka;T. Shikama;H. Umemoto;K. Ohdaira;T. Nishiyama and H. Horibe
• 通讯作者: T. Nishiyama and H. Horibe

A study for reducing pattern position alignment error of a simplified photo lithography method for the nanotech platform established at the average science laboratory

普通科学实验室建立的纳米技术平台的简化光刻方法减少图案位置对准误差的研究

• 发表时间: 2019
• 作者: H. Kunisawa;M. Yamamoto;T. Shimizu;R. W. Johnston;F. Shimokawa;H. Horibe;M. Rusop;and S. Nagaoka
• 通讯作者: and S. Nagaoka

Boron Selective Thermal Diffusion for the Simplified pMOS FET Fabrication Process

用于简化 pMOS FET 制造工艺的硼选择性热扩散

• 发表时间: 2017
• 作者: 西園寺嶺，長岡史郎;辻琢人，山本雅史，R.W.Jhonston,堀邊英夫，清水共
• 通讯作者: 辻琢人，山本雅史，R.W.Jhonston,堀邊英夫，清水共