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Development of high density and accuracy tactile device using MEMS technology

Development of high density and accuracy tactile device using MEMS technology
利用 MEMS 技术开发高密度、高精度触觉设备
批准号:
17K00285
负责人:
Sone Junji
金额:
$3.0万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2017
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2017-04-01 至 2022-03-31

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