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Reduction of transient enhanced diffusion in Si by F co-implantation
通过 F 共注入减少 Si 中的瞬态增强扩散
基本信息
- 批准号：17K06397
- 负责人：
- 金额：$ 3.08万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2017
- 资助国家：日本
- 起止时间：2017-04-01 至 2020-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Simultaneous observation of the diffusion of self-atoms and co-implanted boron and fluorine in pre-amorphized silicon investigated by isotope heterostructures
同位素异质结构同时观察预非晶硅中自原子和共注入硼、氟的扩散
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryotaro Kiga;Masashi Uematsu;Kohei M. Itoh
- 通讯作者：Kohei M. Itoh
シリコン同位体周期構造を用いた共注入フッ素・ホウ素と自己拡散の同時観測
利用硅同位素周期结构同时观察氟/硼共注入和自扩散
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：木我 亮太郎，植松 真司;伊藤 公平
- 通讯作者：伊藤 公平
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Uematsu Masashi其他文献
層状結晶MoX2(X=S, Se)のラマン散乱と光学フォノン温度の測定
层状晶体MoX2（X=S，Se）的拉曼散射和光学声子温度的测量
- DOI：
- 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Shimizu Tsunashi;Akiyama Toru;Nakamura Kohji;Ito Tomonori;Kageshima Hiroyuki;Uematsu Masashi;Shiraishi Kenji;中村 航;劉 鋭安，宮田 全展，小矢野 幹夫 - 通讯作者：
劉 鋭安，宮田 全展，小矢野 幹夫
Reaction of NO molecule at 4H-SiC/SiO2 interface: an ab initio study for the effect of NO annealing after dry oxidation
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10.35848/1347-4065/abdcb1 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
Shimizu Tsunashi;Akiyama Toru;Nakamura Kohji;Ito Tomonori;Kageshima Hiroyuki;Uematsu Masashi;Shiraishi Kenji - 通讯作者：
Shiraishi Kenji
Ab initio calculations for the effect of wet oxidation condition on the reaction mechanism at 4H-SiC/SiO2 interface
从头计算湿式氧化条件对4H-SiC/SiO2界面反应机理的影响
- DOI：
10.35848/1347-4065/ab85dd - 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
Shimizu Tsunashi;Akiyama Toru;Pradipto Abdul-Muizz;Nakamura Kohji;Ito Tomonori;Kageshima Hiroyuki;Uematsu Masashi;Shiraishi Kenji - 通讯作者：
Shiraishi Kenji
Effects of Wet Ambient on Dry Oxidation Processes at 4H-SiC/SiO2 Interface: An Ab Initio Study
潮湿环境对 4H-SiC/SiO2 界面干氧化过程的影响：从头算研究
- DOI：
10.1149/09803.0037ecst - 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Shimizu Tsunashi;Akiyama Toru;Nakamura Kohji;Ito Tomonori;Kageshima Hiroyuki;Uematsu Masashi;Shiraishi Kenji - 通讯作者：
Shiraishi Kenji
Uematsu Masashi的其他文献
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