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Creation of Acoustic Resonance Imaging Technique and Challenge to Visualize the Quality of Thin Polymer Layers

Creation of Acoustic Resonance Imaging Technique and Challenge to Visualize the Quality of Thin Polymer Layers
声共振成像技术的创建和可视化薄聚合物层质量的挑战
批准号：
21K18664
负责人：
Tohmyoh Hironori
金额：
$4.08万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-07-09 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21K18664/
关键词：
音響共鳴超音波映像法薄層品質密着性塗装膜フォトレジスト膜接着層高分子フィルム

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音響共鳴映像法によるフォトレジスト膜の品質評価について
利用声共振成像法评价光刻胶膜的质量
DOI： --
发表时间： 2023
期刊：
影响因子： --
作者： [キム ヘリン, 燈明 泰成]
通讯作者： 燈明 泰成
音響共鳴を利用したフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の測定について
利用声共振测量光刻胶膜的声学特性和膜厚
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [キム ヘリン, 燈明 泰成]
通讯作者： 燈明 泰成
マイクロ／ナノ材料の接合・改質・評価～より有効に微細材料を活用するために～
微纳米材料的接合、改性及评价 - 更有效地利用精细材料 -
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [H. Kim, H. Tohmyoh, 燈明 泰成]
通讯作者： 燈明 泰成
Evaluation of Quality of Thick Photoresist Film by Acoustic Resonant Imaging Technique
声共振成像技术评价光刻胶厚膜的质量
DOI： 10.1116/6.0002459
发表时间： 2023
期刊： Journal of Vacuum Science and Technology B
影响因子： 1.4
作者： [H. Kim, H. Tohmyoh]
通讯作者： H. Tohmyoh
Realization of high-quality, low-dimensional joining interface and its application for creating thermoelectric power function
  • 批准号：
    18H01331
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.07万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Tohmyoh Hironori
  • 依托单位：
    Tohoku University
Controlling Thermal Boundary Conditions around Metallic Thin Wire and Its Application of Energy-Saving Heat Treatment
  • 批准号：
    26630002
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.5万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Tohmyoh Hironori
  • 依托单位：
    Tohoku University
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