シリコンの結晶すべりと疲労過程の３因子その場解析に向けたマイクロトーションテスト

硅晶滑移和疲劳过程三因素原位分析的微扭转试验

• 批准号: 22K03826
• 负责人: 神谷 庄司
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: Nagoya Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K03826/
• 关键词: silicon; fatigue; crystal slip; micro-torsion device; crystal slip deformation; fatigue process

３年計画の初年度となる2022年度では、まず計画された研究のプラットフォームとなる疲労試験デバイスの詳細設計を行った。疲労試験において結晶すべり変形を発生させるためのせん断応力と、すべり変形の活性化エネルギに大きく影響すると推測されるすべり面の圧縮応力、この二つの因子をそれぞれ独立かつ十分な大きさで扱うことを可能ならしめる試験デバイスの動作を数値シミュレーションにより検討した結果、必要十分な性能を持つデバイスの形態を策定することに成功した。この間、連携研究機関であるドイツMax-Planck-Institut fuer Eisenforschungとも頻繁に連絡を取り、現地でのその場観察に使用する予定の顕微鏡試料ホルダに適合する形状に、最終設計をまとめた。次に、この設計に基づいて実際にデバイスを製作するべく、京都大学ナノテクノロジーハブ拠点と具体的なプロセスに関する詳細な協議を繰返し、利用課題申請許可を得て製作に着手する段階へと至った。

In the initial year of the three-year plan and in 2022, the detailed design of the research project will be carried out. The pressure and contraction force of the surface are estimated to be independent of the pressure and contraction force of the surface. The factors of the pressure and contraction force of the surface are estimated to be independent of the pressure and contraction force of the surface. The necessary performance is determined by the shape of the device. This time, with the research organization, Max-Planck-Institut fuer Eisenforschung, frequent contact, field observation, use of predetermined micro-mirror samples, shape, final design, etc. Second, the design of the base in the implementation of the project production process, Kyoto University, the use of the project to apply for permission to start the production of the detailed agreement.