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シリコンの結晶すべりと疲労過程の3因子その場解析に向けたマイクロトーションテスト

シリコンの結晶すべりと疲労過程の3因子その場解析に向けたマイクロトーションテスト
硅晶滑移和疲劳过程三因素原位分析的微扭转试验
批准号:
22K03826
负责人:
神谷 庄司
金额:
$2.66万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2022
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2022-04-01 至 2025-03-31

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
3年計画の初年度となる2022年度では、まず計画された研究のプラットフォームとなる疲労試験デバイスの詳細設計を行った。疲労試験において結晶すべり変形を発生させるためのせん断応力と、すべり変形の活性化エネルギに大きく影響すると推測されるすべり面の圧縮応力、この二つの因子をそれぞれ独立かつ十分な大きさで扱うことを可能ならしめる試験デバイスの動作を数値シミュレーションにより検討した結果、必要十分な性能を持つデバイスの形態を策定することに成功した。この間、連携研究機関であるドイツMax-Planck-Institut fuer Eisenforschungとも頻繁に連絡を取り、現地でのその場観察に使用する予定の顕微鏡試料ホルダに適合する形状に、最終設計をまとめた。次に、この設計に基づいて実際にデバイスを製作するべく、京都大学ナノテクノロジーハブ拠点と具体的なプロセスに関する詳細な協議を繰返し、利用課題申請許可を得て製作に着手する段階へと至った。
英文摘要
3年計画の初年度となる2022年度では、まず計画された研究のプラットフォームとなる疲労試験デバイスの詳細設計を行った。疲労試験において結晶すべり変形を発生させるためのせん断応力と、すべり変形の活性化エネルギに大きく影響すると推測されるすべり面の圧縮応力、この二つの因子をそれぞれ独立かつ十分な大きさで扱うことを可能ならしめる試験デバイスの動作を数値シミュレーションにより検討した結果、必要十分な性能を持つデバイスの形態を策定することに成功した。この間、連携研究機関であるドイツMax-Planck-Institut fuer Eisenforschungとも頻繁に連絡を取り、現地でのその場観察に使用する予定の顕微鏡試料ホルダに適合する形状に、最終設計をまとめた。次に、この設計に基づいて実際にデバイスを製作するべく、京都大学ナノテクノロジーハブ拠点と具体的なプロセスに関する詳細な協議を繰返し、利用課題申請許可を得て製作に着手する段階へと至った。
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会议论文
単結晶シリコンの疲労過程における結晶すべり進展の動的その場観察
  • 批准号:
    19K04091
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $2.75万
  • 财政年份:
    2019
  • 负责人:
    神谷 庄司
  • 依托单位:
表面の局所電子プローブイメージングによるシリコンの機械的疲労損傷機構描像への挑戦
  • 批准号:
    21656030
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额:
    $2.11万
  • 财政年份:
    2009
  • 负责人:
    神谷 庄司
  • 依托单位:
多結晶半導体材料の準位に基づくエレクトロナノメカニクスへの期待
粒界ディープレベルと疲労損傷との関連によるポリシリコンの新しい信頼性評価
  • 批准号:
    16360047
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额:
    $9.66万
  • 财政年份:
    2004
  • 负责人:
    神谷 庄司
  • 依托单位:
海外基金