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Fundamental Processes of Instantaneous Structural Transformation of Crystal Defects Using Synergistic Effects of Irradiation Damage and Localized Laser Heating

利用辐照损伤和局部激光加热协同效应实现晶体缺陷瞬时结构转变的基本过程

基本信息

批准号：
22K04783
负责人：
岩田博之
金额：
$ 2.75万
依托单位：
Aichi Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

项目摘要

透過電子顕微鏡観察用に試料を薄膜加工し，転位等の結晶欠陥の分布から試料に加わった応力・熱履歴を判定する．また顕微鏡内その場加熱観察から現象発現および内部構造の動的挙動から条件出しの基礎データを作成している内部集光型パルスレーザ照射により結晶内の欠陥形成に関して，Siに続きサファイヤについて形成される欠陥の性状を明らかにした．サファイヤでは球状のボイドが形成しとりまくように溶融痕と思われる層が形成する，またクラックがボイドを起点に形成する．Siとの違いは加熱時の熱吸収特性の違いによるものと推察している．2次的に加熱を行うと溶融層が粒界に変性する．SiではCz成長タイプのほか酸素含有量が異なるFz成長タイプをそれぞれ大気中と真空中で加熱しボイドの加熱挙動をについて調査した．2次的加熱によりボイドは酸素雰囲気が乏しい条件のボイドは縮小あるいは消滅することがわかった．そのほか，TEMその場加熱観察からボイドの体積減少と密集する転位の開放する動的挙動の観察をすすめることにより，欠陥の加熱時の動的挙動の基礎特性を取得し，制御可能なボイドとクラックのスケール感と温度特性を明らかにした．

The distribution of crystal defects in the sample for electron microscopy, such as the processing of thin films, the determination of the force and heat of the sample The phenomenon of field heating in the micro-mirror occurs, the internal structure moves, the condition of the basic structure is produced, the internal light collection type is irradiated, the defect formation in the crystal is related, and the Si film is formed. A layer of molten metal is formed on the surface of the ball. Si is the starting point for the formation of the crystal. Si is the starting point for the formation of the crystal. Si is the starting point for the formation of the The condition of the element is reduced. In addition, TEM field heating observation can reduce the volume of the light source, increase the density of the light source, and increase the temperature of the light source.