レアメタルを用いない透明導電性薄膜の結晶性改善に関する研究

不使用稀有金属提高透明导电薄膜结晶度的研究

• 批准号: 22K04910
• 负责人: 山口 博之
• 金额: $ 1.5万
• 依托单位: Akita Prefectural University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K04910/
• 关键词: 電界; 導電率; ゼーベック係数; 透明導電性薄膜

一年目は主に成膜環境を整えるのに費やした。これまでは成膜時に1 [kV/cm] 以下の静電界を印加して還元処理で得られた膜について評価してきた。成膜環境を改良することで、高周波の正弦波、および矩形波の電界を印加できるようになった。また、電気炉を変えることで、還元温度もこれまでの 950 [℃] から 1150 [℃] までで還元できるようになった。これにより高温エタノールガスの活性を上げて、より効率的な還元処理が行えるようになった。また、膜（基板）に垂直方向の電界を印加するだけでなく、平行な方向にも電界を印加できるようになった。さらに印加できる電界強度も高くし、これまでの1 [kV/cm] から、5 [kV/cm] まで印加できるようになった。そのうえで、キャスト法だけでなくスピンコート法による塗布からの成膜を試みた。以上のように印加できる電界の強度、波形・印加方向の自由度が高くなるように成膜環境のバージョンアップを行ったのち、PEDOT：PSSおよびrGOの成膜および物性評価を行った。成膜時の電界印可が導電率を向上させる一方で、ゼーベック係数には影響しないことを確認した。これは、成膜時の電界印可がキャリア濃度には影響せずに、移動度を高めていることを意味し、結晶性の向上、配向性の向上、が成膜時電界印可により引き起こされた可能性を示唆している。静電界の極性、静電界の印加方向（膜に平行、垂直）、交流電界、が導電率に与える影響、についての評価も行ったので、今後、学会発表などで公表していく。

In one year, the main purpose of the film-forming environment is to rectify the environment. On the basis of the film formation time 1 [kV/cm], in the electrostatic industry, there are significant differences in the film formation time 1 [kV/cm]. The film-forming environment improves the performance of high-frequency sine wave, high-cycle sine wave and rectangular wave in the Inca power industry. The temperature of the furnace, the temperature of the furnace and the temperature of the furnace. The temperature is very high, and the temperature is very high. The vertical direction of the film (substrate), the vertical direction of the electrical industry, and the parallel direction of the electrical industry, the film (substrate) and the vertical direction of the film (substrate). The Indo-Canadian electronics industry is very strong. 1 [kV/cm], 5 [kV/cm] Indo-Canada are very strong. In this way, the method is used to form a film. The above factors affect the strength of the Inca electrical industry, the degree of freedom in the direction of waveform printing, the degree of freedom in the formation of the film, the environmental impact of the environment, the performance of the film, and the physical properties of the rGO film. When the film is formed, the electronic printing industry can make sure that the electricity rate is on the rise, and the number of the film is very high. For example, when the film is formed, the electronic printing can affect the temperature, the degree of mobility is high, the crystal property is up, the orientation is up, and when the film is formed, the printing can induce the possibility of causing the effect. The performance of the static electricity industry, the Inca direction of the static electricity industry (parallel and vertical), the AC power industry, the electricity rate of electricity and the impact of electricity, and so on. In the future, we will learn to read the public table.