Development of hydrogenated amorphous indium oxide-based transparent conductive oxide films with high mechanical flexibility

具有高机械柔性的氢化非晶氧化铟基透明导电氧化物薄膜的开发

基本信息

  • 批准号:
    22K04932
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.66万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2022
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2022-04-01 至 2025-03-31
  • 项目状态:
    未结题

项目摘要

Internet of ThingsやInternet of Human推進に向けた社会的要請が高まる中,機械的柔軟性とともに優れた電気伝導および光学的透明性を併せ持つフレキシブル透明導電膜への期待が高まっている.しかしながら,従来材料ITOは易結晶化材料であるため,このような用途に対して適しているのか定かでない.本研究では,独自に開発してきたアモルファス性の非常に高いB含有In2O3透明導電薄膜を用いる.これまでの研究結果から,ITOに匹敵する電気的・光学的特性が得られることがわかったが,フレキシブル透明導電膜として応用するために,依然として,以下2つの課題を残す:(1)B含有In2O3薄膜のキャリア密度向上,(2)フレキシブル薄膜測定装置の改良.そこで,これらの解決のため,水素ドープによる成膜条件最適化,および薄膜の局所構造解析と構成元素含有量の定量評価を行うとともに,屈曲に伴う薄膜形態変化を明らかにし,さらなる機械的柔軟性の向上を目指す.2022年度は,3種類の混合ガス中でのスパッタ成膜条件最適化と特性評価の比較を計画していたが,半導体チップ供給不足による研究装置の納期遅延のため,Ar/H2ガス中での最適化を進めた.また,次年度以降に予定していた柔軟性評価を先行して実施した.結果として,期待していた水素導入によるキャリア密度向上と,それに伴う抵抗率の減少は達成したものの,全く想定していなかった薄膜硬化が生じ,水素導入により柔軟性は低下することが新たな知見として得られた.一方,遅れていた水蒸気導入機構のセットアップが年度内に完了したため,確立したAr/H2ガスでの最適成膜条件をもとに,薄膜作製と評価を進めている.
Internet of Things Internet of Human to promote the development of high-end society, mechanical flexibility, mechanical flexibility, optical transparency, high temperature, high temperature The purpose of this study is to analyze the optical properties of In2O3 thin films. The results of the study show that the optical properties of ITO thin films are very high, and the optical properties of these thin films are very high in this study. Still, the following two problems: (1) B contains In2O3 thin film, the density is up, (2) the thin film determination device is improved, the water content is optimized, and the film formation condition is the most optimized. Buckling is accompanied by thin film morphology, and the flexibility of the machine is aimed upwards. in 2022, the film-forming conditions of three kinds of mixed materials have been improved, and the characteristics of the film-forming conditions have been compared. in this paper, the experimental results have been compared with each other, and the semi-conductor has been used for the undersupply of the equipment. The cycle cycle has been extended, and the performance of the Ar/H2 has been improved. In the next year, it is expected that the water content will increase in density, the resistance rate will increase, the film hardening will be affected, and the water content will increase in the first place. The water steaming system has been introduced into the organization to determine the optimal conditions for the formation of the film during the year, and the film is used to improve the quality of the film.

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
N2 concentration dependence of electrical conduction in partially nitrided SnOx thin-films deposited by reactive RF magnetron sputtering
反应性射频磁控溅射沉积的部分氮化 SnOx 薄膜中电导率的 N2 浓度依赖性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    T. Kawaguchi;K. Watanabe;S. Aikawa
  • 通讯作者:
    S. Aikawa
N2およびAr/H2アニールによるSnOx薄膜の還元状態の比較
N2和Ar/H2退火SnOx薄膜还原状态比较
  • DOI:
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    野寺 歩夢,森 峻;相川 慎也;渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也
  • 通讯作者:
    渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也
TiOx系ReRAM特性におけるアニール温度の影響
退火温度对 TiOx 基 ReRAM 特性的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    野寺 歩夢,森 峻;相川 慎也;渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也;森 峻,木菱 完太,山寺 真理,野寺 歩夢,渡辺 幸太郎,鷹野 一朗,相川 慎也;川口 拓真,渡辺 幸太郎,永井 裕己,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也;池田 翔,大沢 遼輝,相川 慎也
  • 通讯作者:
    池田 翔,大沢 遼輝,相川 慎也
Deposition of nitrogen-doped titanium dioxide thin films via rf magnetron sputtering
射频磁控溅射沉积氮掺杂二氧化钛薄膜
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    M. Martinez;T. Onuma;H. Nagai;T. Honda;S. Aikawa;T. Yamaguchi;M. Vasquez Jr.
  • 通讯作者:
    M. Vasquez Jr.
Ar/H2雰囲気中でスパッタ成膜したSnO2薄膜の特性評価
Ar/H2气氛中溅射沉积SnO2薄膜的特性评价
  • DOI:
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    野寺 歩夢,森 峻;相川 慎也;渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也;森 峻,木菱 完太,山寺 真理,野寺 歩夢,渡辺 幸太郎,鷹野 一朗,相川 慎也;川口 拓真,渡辺 幸太郎,永井 裕己,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也;池田 翔,大沢 遼輝,相川 慎也;木菱 完太,山寺 真理,森 峻,相川 慎也;小林 翔,渡辺 幸太郎,川口 拓真,石田 哲也,相川 慎也
  • 通讯作者:
    小林 翔,渡辺 幸太郎,川口 拓真,石田 哲也,相川 慎也
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

相川 慎也其他文献

相川 慎也的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('相川 慎也', 18)}}的其他基金

糖類からのカーボンナノチューブ合成と合成後の内包プロセスに関する研究
糖合成碳纳米管及合成后封装工艺研究
  • 批准号:
    09J01436
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows

相似海外基金

安定同位体でラベルしたリノール酸過酸化物とオキソ脂肪酸の体内動態解明
阐明稳定同位素标记的过氧化亚油酸和含氧脂肪酸的药代动力学
  • 批准号:
    24K14670
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
希土類複合酸化物における電子強誘電性の電界・光・磁場による分極制御とイメージング
利用电、光和磁场对稀土复合氧化物中电子铁电性的偏振控制和成像
  • 批准号:
    23K22424
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
スピン軌道結合系イリジウム酸化物の逐次新奇相転移と電流誘起交差相関物性の解明
阐明自旋轨道耦合氧化铱的新型连续相变和电流感应互相关特性
  • 批准号:
    23K22454
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
酸化物二重量子井戸構造の共鳴トンネル現象を用いた新原理モットトランジスタ
利用氧化物双量子阱结构中谐振隧道现象的新原理莫特晶体管
  • 批准号:
    23K23216
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
酸化物触媒活性中心の原子スケール構造可視化
氧化物催化剂活性中心原子尺度结构的可视化
  • 批准号:
    23K23292
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
金属酸化物と固体窒素源を用いた金属窒化物の低温合成プロセスの開発
利用金属氧化物和固体氮源低温合成金属氮化物工艺的开发
  • 批准号:
    23K26370
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
非酸化物セラミックスの電気化学反応機構の解明と室温での損傷修復機能の獲得
阐明非氧化物陶瓷的电化学反应机理并获得室温损伤修复功能
  • 批准号:
    23K26381
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
混合・異常高原子価イオンを含む遷移金属酸化物の相転移に関する研究
混合/异常高价离子过渡金属氧化物的相变研究
  • 批准号:
    24KJ1335
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
放射線を用いたカーボン担持金属酸化物ナノ粒子触媒の合成
辐射合成碳载金属氧化物纳米颗粒催化剂
  • 批准号:
    24KJ1592
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
鉄カルコゲナイド-酸化物多層膜の作製による高温超伝導の実現
通过制备铁硫族化物-氧化物多层薄膜实现高温超导
  • 批准号:
    24KJ0799
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了