材料加工应用中射频等离子体的非线性现象-猫眼课题宝

材料加工应用中射频等离子体的非线性现象

批准号：

LX0242374

负责人：

Prof Serguei Vladimirov

金额：

$1.45万

依托单位：

The University of Sydney

依托单位国家：

澳大利亚

项目类别：

Linkage - International

财政年份：

2003

资助国家：

澳大利亚

项目状态：

已结题

起止时间：

2003-01-01 至 2006-12-31

来源：

https://dataportal.arc.gov.au/RGS/Web/Grants/LX0242374

关键词：

Nonlinear Phenomena RF Plasmas Materials

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This coordinated and experimental and theoretical proposal focuses on the investigation of the nonlinear phenomena in radio frequency plasma discharges suitable for material processing applications. The effect of time-varying and steady-state nonlinear p

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