中红外激光辅助近场蚀刻 ~ 化合物半导体的非接触超平坦化-猫眼课题宝

中红外激光辅助近场蚀刻 ~ 化合物半导体的非接触超平坦化

批准号：

23K03616

负责人：

吉田恭平

金额：

$3.08万

依托单位：

Kumamoto Industrial Research Institute

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

财政年份：

2023

资助国家：

日本

项目状态：

未结题

起止时间：

2023-04-01 至 2026-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23K03616/

关键词：

近接場光エッチング選択的格子振動励起中赤外レーザー

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TiO2の選択的格子振動励起の直接的観測および電子状態への影響の解明

批准号：

17K14132
项目类别：

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
资助金额：

$2.75万
财政年份：

2017
负责人：

吉田恭平
依托单位：

Kumamoto University

中赤外自由電子レーザーによる選択的格子振動励起の検証と電子状態への影響

批准号：

13J04954
项目类别：

Grant-in-Aid for JSPS Fellows
资助金额：

$1.41万
财政年份：

2013
负责人：

吉田恭平
依托单位：

Kyoto University

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