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MIR-laser assisted near-field etching ~ contactless super-planarization of compound semiconductors

中红外激光辅助近场蚀刻 ~ 化合物半导体的非接触超平坦化

基本信息

批准号：
23K03616
负责人：
吉田恭平
金额：
$ 3.08万
依托单位：
Kumamoto Industrial Research Institute
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
项目状态：
未结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23K03616/
关键词：
近接場光エッチング選択的格子振動励起中赤外レーザー

项目摘要

项目成果

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影响因子：
0
作者：
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通讯作者：
中野　卓

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0
作者：
堀川真希;永岡昭二;吉田恭平;河口勉;田中裕之;伊原博隆;井本佐保里;岸日和，大橋巧;中野　卓;前川利雄，木下雄貴，毎田悠承，齋藤迅，立花弘，島田安章，服部翼
通讯作者：
前川利雄，木下雄貴，毎田悠承，齋藤迅，立花弘，島田安章，服部翼

吉田恭平的其他文献

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TiO2の選択的格子振動励起の直接的観測および電子状態への影響の解明

直接观察 TiO2 的选择性晶格振动激发并阐明其对电子态的影响

批准号：
17K14132
财政年份：
2017
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$ 3.08万
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

中赤外自由電子レーザーによる選択的格子振動励起の検証と電子状態への影響

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