ハイブリッド波動面を用いた直線型マイクロフィーダの開発

使用混合波前开发线性微进给器

• 批准号: 08750307
• 负责人: 笹木 亮
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: University of Toyama
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08750307/
• 关键词: 進行波; マイクロフィーダ; 圧電バイモルフ部材

研究代表者は,微笑物体や薄箔材など従来,輸送が困難であるとされてきたものを対象とする,以下のフィーダ試作した.波動面の一端を励振し,伝播してきた波を,伝播するのに要する時間分だけ位相ずれを与えて他端を振動させることで,能動的に反射波を抑えて進行波を発生させる駆動方式を利用して,波動面に軟らかい物性のものをコーティングした波動面を用いるリニアフィーダを試作した.・実験装置:波動面は等間隔にスリットを設け,曲げ剛性を低くした軟鋼板を用い,搬送面である波動面上全面に厚さ0.18mmのシリコンシートを貼付け,表面のみが軟らかいハイブリッドな波動面とした.バイモルフ型振動子を用いて一端を励振させた時の両振動子の位相遅れの差だけ位相がずれるように,他端の励振電圧の位相を,移相調節入力が可能なマルチ計測器(新規:コンテック,DOC(98)-P01)で入力し,駆動した.測定は,リターダで入力信号を一定時間遅らせてストロボスコープを発光させ,波動面の各点の複振幅と駆動周期の1/6毎の変位を読み取り顕微鏡で測定する一方,静電容量型変位計からの振動子の先端たわみ信号をマルチ計測器で取り込み,入力振幅と進行波発生条件との関係について調べた.・基礎的搬送実験:薄物として金属箔の搬送を行い,波動面上の38mm区間の移動に要する搬送時間から,搬送速度求めた.ワークの質量,厚さに関わらず,搬送速度は両端振幅にほぼ直線的に比例し,銅箔(t2μm×10×10mm,4mg)を用い,両端複振幅64μm,駆動振動数1.66kHzおよび上述の測定より得た入力の位相ずれφ'=-142°で最大搬送速度60.6mm/sを得た.入力する位相遅れを入れ替えると,進行波は逆方向に進行し,ワークも逆方向に搬送され,同一振幅では入力を入替える前とほぼ同じ搬送速度を得た。波動面両側端の振動子の共振点が一致すれば,シンク側は伝播してきた波動で共振するために,ソース側振動子の駆動だけでも反射波をある程度抑えた進行波の発生が可能であった.

The researchers said that the transportation of thin foil materials was difficult. One end of the ratio surface is excited, the transmission wave is transmitted, the time is divided, the phase is reflected, and the other end is vibrated. The active reflection wave is suppressed, the progressive wave is generated, and the mode of motion is utilized. The ratio surface is soft, the physical property is transmitted, and the ratio surface is used. Practical device: The ratio surface is set at equal intervals, and a mild steel plate with low bending rigidity is used. The conveying surface can be covered with a 0.18mm thick ratio surface, and the surface can be soft and smooth. The phase difference of the oscillator when excited at one end and the phase difference of the oscillator when excited at the other end may be adjusted by phase shift.(New regulation: DOC(98)-P01). Measurement of the input force signal for a certain period of time, the complex amplitude of each point of the ratio surface, the vibration period of 1/6 of each position, the measurement of the micro-mirror, the electrostatic capacitance type position meter, the oscillator tip signal, the input force amplitude, the relationship between the wave generation conditions and the adjustment. The basic transportation: thin material and metal foil transportation, the ratio of the movement of the 38mm section of the transportation time, transportation speed. The mass, thickness, and transport speed are proportional to the amplitude of the end line. Copper foil (t2μm×10×10mm,4mg) is used. The amplitude of the end line is 64μm. The vibration frequency is 1.66 kHz. The phase of the force measured above is φ'=-142°. The maximum transport speed is 60.6 mm/s. The input force is reversed in the opposite direction, and the input force is reversed in the same amplitude. The resonance point of the oscillator on the side of the ratio plane is consistent with the resonance point of the oscillator on the side of the ratio plane.

项目成果

笹木 亮: "帯状波動面を用いたソース.シンク変位駆動による進行波型リニアマイクロフィーダ" 精密工学会誌. 62・5. 737-741 (1996)

Ryo Sasaki：“使用带状波面的源汇位移驱动的行波线性微进给器”日本精密工程学会杂志62・5（1996）。