均一ドープ超短チャネル電界効果トランジスタの研究
均一ドープ超短チャネル電界効果トランジスタの研究
均匀掺杂超短沟道场效应晶体管的研究
批准号：
08750394
负责人：
藤島 実
金额：
$0.77万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1996
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1996 至 --
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ショートチャネル効果と寄生抵抗の増大という2つの問題を解決するため、新提案のダブルショットキーMOSFETを試作した。ソース、ドレインはSi基板にTiをスパッタし550℃でアニールしてTiシリサイドを形成した。このショットキーダイオードの特性を測定した結果、良好なTiSi_2膜が形成されていることが確認できた。また、ドライ酸化によりTiSi_2上にSiO_2膜が形成されることも確認できた。作製したFETはまだOFF時のリ-ク電流が大きくゲート電圧による変調も小さいが、以上の結果からダブルショットキーMOSFETの基本的な作製プロセスは確立できたと言える。
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藤島実 他: "Semiconductor Single-Electron Transistor as a Successor of Scaling MOSFETs" IEICE TRANSACTIONS on Electronics. E80-C,7(発表予定). (1997)
Minoru Fujishima 等人：“半导体单电子晶体管作为缩放 MOSFET 的后继者”IEICE TRANSACTIONS on Electronics E80-C,7（待公布）。
Minoru Fujishima 等人：“半导体单电子晶体管作为缩放 MOSFET 的后继者”IEICE TRANSACTIONS on Electronics E80-C,7（待公布）。
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
福井大伸 他: "Single-Electron Transistor in SOI Structure with Schottky-Contact Tunnel Barriers" The 190th Meeting Abstructs,The Electrochemical Society,Inc. 96-2. 578-578 (1996)
Dainobu Fukui 等人：“具有肖特基接触隧道势垒的 SOI 结构中的单电子晶体管”第 190 次会议摘要，电化学协会，Inc. 578-578 (1996)。
Dainobu Fukui 等人：“具有肖特基接触隧道势垒的 SOI 结构中的单电子晶体管”第 190 次会议摘要，电化学协会，Inc. 578-578 (1996)。
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
藤島実 他: "MOSFETの微細化限界についての一考察" 第44回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集. 97春(発表予定). (1997)
Minoru Fujishima 等人：“MOSFET 小型化极限的研究”，1997 年春季第 44 届应用物理学联合会议论文集（待提交）。
Minoru Fujishima 等人：“MOSFET 小型化极限的研究”，1997 年春季第 44 届应用物理学联合会议论文集（待提交）。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
福井大伸 他: "Single-Electron Transistor with Schottky Source/Drain" 1996 Int.Symp.on Formation,Physics and Device Application of Quantum Dot Structures : Final Program & Collected Abstracts. 146-146 (1996)
Dainobu Fukui 等人：“具有肖特基源极/漏极的单电子晶体管”1996 Int.Symp.on 量子点结构的形成、物理和器件应用：最终程序和摘要146-146 (1996)。
Dainobu Fukui 等人：“具有肖特基源极/漏极的单电子晶体管”1996 Int.Symp.on 量子点结构的形成、物理和器件应用：最终程序和摘要146-146 (1996)。
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
天川修平 他: "Characterization of Capacitively-Coupled Dual Tunnel Junction Array" 1996 Int.Symp.on Fromation,Physics and Device Application of Quantum Dot Structures : Final Program & Collected Abstracts. 154-154 (1996)
Shuhei Amakawa 等人：“电容耦合双隧道结阵列的特性”1996 Int.Symp.on 量子点结构的形成、物理和器件应用：最终程序和摘要 154-154 (1996)。
Shuhei Amakawa 等人：“电容耦合双隧道结阵列的特性”1996 Int.Symp.on 量子点结构的形成、物理和器件应用：最终程序和摘要 154-154 (1996)。
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 6 条
Sub-terahertz band wireless system (Wi-FOS) for long-distance transmission at fibre-optic speed
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批准号：22H00217
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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资助金额：$26.79万
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财政年份：2022
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负责人：藤島 実
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依托单位：
ネットワークマイクロモニタの研究
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批准号：13750330
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$1.34万
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财政年份：2001
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负责人：藤島 実
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依托单位：
人の運動情報獲得のための超小型知的集積センサーシステムの研究
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批准号：09750377
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$1.41万
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财政年份：1997
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负责人：藤島 実
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依托单位：
チャネルピンチ型SOI電界効果トランジスタの研究
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批准号：07750382
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.64万
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财政年份：1995
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负责人：藤島 実
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依托单位：