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Piezoelectric analysis for inside of the stressed thin films by cross sectional AFM

Piezoelectric analysis for inside of the stressed thin films by cross sectional AFM
通过截面 AFM 对受应力薄膜内部进行压电分析
批准号:
26820294
负责人:
Sakamoto Naonori
金额:
$2.5万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份:
2014
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2014-04-01 至 2016-03-31

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发表时间: 2016
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通讯作者: 鈴木久男
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