Piezoelectric analysis for inside of the stressed thin films by cross sectional AFM

通过截面 AFM 对受应力薄膜内部进行压电分析

• 批准号: 26820294
• 负责人: Sakamoto Naonori
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26820294/
• 关键词: 薄膜; 強誘電体; 応力; 断面; 原子間力顕微鏡; AFM

项目成果

Arイオンミリングを用いたPb(Zr,Ti)03薄膜断面の形成とAFMによる圧電応答評価

使用 Ar 离子铣削形成 Pb(Zr,Ti)03 薄膜横截面并使用 AFM 评估压电响应

• 发表时间: 2016
• 作者: 宮崎智史;坂元尚紀;川口昂彦;脇谷尚樹;鈴木久男
• 通讯作者: 鈴木久男

ナノ材料の顕微鏡観察による局所構造の解析

通过纳米材料的显微观察分析局部结构

• 发表时间: 2015
• 作者: 坂元尚紀;宮崎智史;山本祥太; 脇谷尚樹;鈴木久男
• 通讯作者: 鈴木久男