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化学気相析出法による酸化物薄膜センサーの作製とその評価

化学気相析出法による酸化物薄膜センサーの作製とその評価
化学气相沉积法氧化物薄膜传感器的制备与评价
批准号：
58208009
负责人：
鎌田 喜一郎
金额：
$0.77万
依托单位：
Nagaoka University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1983
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1983 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-58208009/
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各種プラズマによるアモルファスダイヤモンド膜の合成と評価
  • 批准号：
    04205056
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.66万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    鎌田 喜一郎
  • 依托单位：
    Nagaoka University of Technology
各種ブラズマによるアモルファスダイヤモンド膜の合成と評価
  • 批准号：
    03205052
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.22万
  • 财政年份：
    1991
  • 负责人：
    鎌田 喜一郎
  • 依托单位：
    Nagaoka University of Technology
バイアスECR型プラズマCVD法によるアモルファスダイヤモンド膜の合成と評価
  • 批准号：
    02205051
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.09万
  • 财政年份：
    1990
  • 负责人：
    鎌田 喜一郎
  • 依托单位：
    Nagaoka University of Technology
プラズマCVD法によるアモルファスセラミックス薄膜の合成と評価
  • 批准号：
    63604541
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1988
  • 负责人：
    鎌田 喜一郎
  • 依托单位：
    Nagaoka University of Technology