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無線・無給電振動子水素ガスセンサーの開発

无线/寄生谐振器氢气传感器的开发

基本信息

批准号：
22K18971
负责人：
荻博次
金额：
$ 4.16万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-06-30 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

カーボンニュートラルの実現に向けて世界中で水素社会の到来が確実視されており、関連技術の進化が要求されている。本研究では、２０メートル以上の距離における無線・無給電振動子センシング技術を確立することを第1の目的とし、この原理を利用した半永久使用可能な高感度の水素ガスセンサーシステムを開発することを第2の目的とする。令和４年度においては、２０メートルを超える距離における、無線・無給電の計測技術を確立した。ATカット水晶振動子をMEMS技術を用いて薄型化し、ガラス／シリコン／ガラスの３層構造からなるマイクロフォルダ内に設置した。電磁波発生装置から、水晶振動子の力学的共振周波数と同じ周波数のバーストの電磁波を送信し、水晶振動子を発振させ、続いて、水晶振動子の振動によって発せられる電磁波を、受信機により受信することにより、２０メートルを超える距離における非接触での水晶振動子の共振周波数の計測に成功した。

カーボンニュートラルの be am に to けての world で water element society coming が be truly see されており, masato even のが evolution requires されている. This study では, 20 メートルの distance above における wireless, no to electric vibrator センシング technology を establish することをの 1 purpose とし, この principle を using した semi-permanent use may な Gao Gan degrees の water element ガスセンサーシステムを open 発することを 2 の purpose とする. Make and 4 year においては, 20 メートルを super える distance における, wireless, no to electric のを measuring technology to establish した. AT カット crystal oscillator をを MEMS technology with いて thin し, ガラス / シリコン / ガラスの three layers structure からなるマイクロフォルダしに set inside た. Electromagnetic wave 発 raw device から, crystal oscillator with の mechanical resonance frequency count とじ cycle for のバーストの electromagnetic を messenger し, crystal oscillator を発 vibration させ, 続いて, crystal oscillator の vibration によって発せられるを electromagnetic waves, trusted machine により trusted することにより, 20 メートルを super える distance における non-contact での crystal The measurement of the wave number of the resonant cycle of the vibrator <s:1> was に successful and たた.