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無線・無給電振動子水素ガスセンサーの開発

无线/寄生谐振器氢气传感器的开发

基本信息

批准号：
22K18971
负责人：
荻博次
金额：
$ 4.16万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-06-30 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

カーボンニュートラルの実現に向けて世界中で水素社会の到来が確実視されており、関連技術の進化が要求されている。本研究では、２０メートル以上の距離における無線・無給電振動子センシング技術を確立することを第1の目的とし、この原理を利用した半永久使用可能な高感度の水素ガスセンサーシステムを開発することを第2の目的とする。令和４年度においては、２０メートルを超える距離における、無線・無給電の計測技術を確立した。ATカット水晶振動子をMEMS技術を用いて薄型化し、ガラス／シリコン／ガラスの３層構造からなるマイクロフォルダ内に設置した。電磁波発生装置から、水晶振動子の力学的共振周波数と同じ周波数のバーストの電磁波を送信し、水晶振動子を発振させ、続いて、水晶振動子の振動によって発せられる電磁波を、受信機により受信することにより、２０メートルを超える距離における非接触での水晶振動子の共振周波数の計測に成功した。

In order to realize the coming of the water society in the world, we must pay close attention to the requirements for the improvement of technology and technology. In this study, more than 20 years old, the distance between the two systems is wireless and the vibrator is free of line. The technology ensures that the first purpose of the system is established, and the principle of the device is used to make use of semi-permanent use. It is possible to use the high-sensitivity water supply to start the second cycle. Ling and 4 years old, 20 years old, 20 years, 20 years, and so on. AT crystal vibrator MEMS technology is used to reduce the size of the device, and to make a device for the internal device of the device. The resonant wave numbers of electromagnetic wave generator and crystal vibrator mechanics are the same as those of electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electromagnetic wave generator, crystal vibrator, electronic magnetic wave, electronic magnetic wave, 20 μ m. Super distance. Non-contact. Crystal oscillator. Resonant cycle number. Successful.