Einrichtung und Methodiken zur Messung von Mikro- und Nanokräften im Bereich kleiner als 10-5 N mit einer Auflösung von 10-12 N

Zur Zeit gibt es zwar international Forschungsaktivitäten im Bereich der Mikrotasterentwicklung aber keine Arbeiten，die sich mit dem Antastverhalten von taktilen Sensoren bei leinen Antastkräften beschäftigen.在10胜6负的情况下，Messtechnik为Bereich kleiner中的Kräften Darstellung提供的Nachfrage非常大。在10-5 N范围内，一个带有静电还原的施铁装置可以使一个准静电的Kraft与一个10-12 N的Kraftauflösung相结合。这一功能模式基于一个两个平行的最小尺寸的平面，它与两个平面上的最小尺寸的平面相匹配。Dongangelegte elektrische Spannungen an den Kondensatoren wird eine einstellbare Steifigkeit des Pendels ermöglicht.水平传感器可用于一种测量仪器，该仪器具有一个由干涉测量仪器测量和静电测量仪器测量得到的调节器。这些小王子有一个巨大的Steifigkeitseinstellbereich努尔durch的变化elektrischen跨度在Kondensatorplatten。

Zur Zeit gibt es zwar internationale Forschungsaktivitäten im Bereich der Mikrotasterentwicklung aber keine Arbeiten, die sich mit dem Antastverhalten von taktilen Sensoren bei kleinen Antastkräften beschäftigen. Die Nachfrage nach Messtechnik für die Darstellung von Kräften im Bereich kleiner als 10-6 N ist daher augenblicklich sehr groß. Anhand eines Scheibenpendels mit elektrostatischer Reduzierung der Steifigkeit kann man eine quasistatische Kraft im Bereich kleiner als 10-5 N mit einer Kraftauflösung von 10-12 N messen. Das vorgeschlagene Funktionsschema basiert auf einem Aluminiumscheibenpendel zwischen zwei äußeren parallelen Platten, die mit dem Aluminiumscheibenpendel zwei Plattenkondensatoren bilden. Durch angelegte elektrische Spannungen an den Kondensatoren wird eine einstellbare Steifigkeit des Pendels ermöglicht. Die zu messenden horizontalen Kräfte führen zu einer Auslenkung des Scheibenpendels, die mit einem Regler bestehend aus interferometrischer Auslenkungsmessung und elektrostatischer Gegenkrafterzeugung, kompensiert wird. Dieses Prinzips bietet einen besonders großen Steifigkeitseinstellbereich nur durch die Variation der elektrischen Spannung auf den Kondensatorplatten.