Einrichtung und Methodiken zur Messung von Mikro- und Nanokräften im Bereich kleiner als 10-5 N mit einer Auflösung von 10-12 N

Zur Zeit gibt es Zwar International ale Forschungsaktitiitäten im Bereich der Mikrotasterentwickung aber keine arbeiten，it Dm Antaverten von taktilen sensoren be kleinen Antakräften Beschäftigen.De Nachfrage nach Messtechnik für die Darstellung von Kräften im Bereich Kleiner ALS 10-6 N is Daher augenblicklich sehr gro？MIT电子统计师Reduzierung der Steifigkeit kann man eine quasistatische Kraft im Bereich Kleiner ALS 10-5 N MIT einer Kraftauflöung von 10-12 N Messen.Das vas vorgeschlagene Funktions‘s schema basiert auf einem Aluminiumscheibenpendel zwitchen zwitchen zweiäu？eren parparallen Platten，die MIT DEM Aluminiumscheibenpendel zwei Pltenkondenatoren bilden.在此之前，我不会让任何人知道这一点。这是一种水平测量方法，它是一种新型的测量方法，它可以用来测量和测量静电。这是一种很好的选择，因为这是一种新的选择。

Zur Zeit gibt es zwar internationale Forschungsaktivitäten im Bereich der Mikrotasterentwicklung aber keine Arbeiten, die sich mit dem Antastverhalten von taktilen Sensoren bei kleinen Antastkräften beschäftigen. Die Nachfrage nach Messtechnik für die Darstellung von Kräften im Bereich kleiner als 10-6 N ist daher augenblicklich sehr groß. Anhand eines Scheibenpendels mit elektrostatischer Reduzierung der Steifigkeit kann man eine quasistatische Kraft im Bereich kleiner als 10-5 N mit einer Kraftauflösung von 10-12 N messen. Das vorgeschlagene Funktionsschema basiert auf einem Aluminiumscheibenpendel zwischen zwei äußeren parallelen Platten, die mit dem Aluminiumscheibenpendel zwei Plattenkondensatoren bilden. Durch angelegte elektrische Spannungen an den Kondensatoren wird eine einstellbare Steifigkeit des Pendels ermöglicht. Die zu messenden horizontalen Kräfte führen zu einer Auslenkung des Scheibenpendels, die mit einem Regler bestehend aus interferometrischer Auslenkungsmessung und elektrostatischer Gegenkrafterzeugung, kompensiert wird. Dieses Prinzips bietet einen besonders großen Steifigkeitseinstellbereich nur durch die Variation der elektrischen Spannung auf den Kondensatorplatten.