Einrichtung und Methodiken zur Messung von Mikro- und Nanokräften im Bereich kleiner als 10-5 N mit einer Auflösung von 10-12 N

Zur time giit es zwar internationale Forschungsaktivitäten im berich der Mikrotasterentwicklung aberkeine Arbeiten, die siich dem Antastverhalten von taktilen Sensoren bekleinen Antastkräften beschäftigen。[10] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]Anhand eines Scheibenpendels mit elektrostatischer Reduzierung der Steifigkeit kann man eine quasistatische Kraft im Bereich kleiner als 10-5 N mit einer Kraftauflösung von 10-12 N messen。Das vorgeschlagene functionsschema basiert auf einem Aluminiumscheibenpendel zwischen zwei äußeren parallelen Platten, die mit dem Aluminiumscheibenpendel zwei platattenkondensatoreen bilden。荷兰angelegte elektrische Spannungen and den Kondensatoren wind einstellbare Steifigkeit des Pendels ermöglicht。参考文献：水平测量技术与测量技术Kräfte fhren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren - eren干涉测量技术与测量技术。diesprinzips bietet einen sonders grogroen steifigkeitseinstellberich ich - durch die Variation der elektrischen Spannung aufden Kondensatorplatten。

Zur Zeit gibt es zwar internationale Forschungsaktivitäten im Bereich der Mikrotasterentwicklung aber keine Arbeiten, die sich mit dem Antastverhalten von taktilen Sensoren bei kleinen Antastkräften beschäftigen. Die Nachfrage nach Messtechnik für die Darstellung von Kräften im Bereich kleiner als 10-6 N ist daher augenblicklich sehr groß. Anhand eines Scheibenpendels mit elektrostatischer Reduzierung der Steifigkeit kann man eine quasistatische Kraft im Bereich kleiner als 10-5 N mit einer Kraftauflösung von 10-12 N messen. Das vorgeschlagene Funktionsschema basiert auf einem Aluminiumscheibenpendel zwischen zwei äußeren parallelen Platten, die mit dem Aluminiumscheibenpendel zwei Plattenkondensatoren bilden. Durch angelegte elektrische Spannungen an den Kondensatoren wird eine einstellbare Steifigkeit des Pendels ermöglicht. Die zu messenden horizontalen Kräfte führen zu einer Auslenkung des Scheibenpendels, die mit einem Regler bestehend aus interferometrischer Auslenkungsmessung und elektrostatischer Gegenkrafterzeugung, kompensiert wird. Dieses Prinzips bietet einen besonders großen Steifigkeitseinstellbereich nur durch die Variation der elektrischen Spannung auf den Kondensatorplatten.