Fundamental Study on Research and Development of Diamond-Like Carbon Coating Technique using Atmospheric-Pressure Hydrocarbon Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition

常压烃类等离子体辅助化学气相沉积类金刚石碳涂层技术研发基础研究

• 批准号: 26420247
• 负责人: ODA Akinori
• 金额: $ 3.24万
• 依托单位: Chiba Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2017-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420247/
• 关键词: ダイヤモンドライクカーボン膜; プラズマ支援ＣＶＤ; 大気圧プラズマ; プラズマ診断; プラズマシミュレーション; 炭化水素プラズマ; ハイドロカーボンプラズマ; 非平衡大気圧プラズマ; 炭化水素ガス; プラズマＣＶＤ

项目成果

非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性と温度上昇に及ぼす誘電体材料の影響

介质材料对非平衡常压氦等离子体均匀性和温升的影响

• 发表时间: 2016
• 作者: Akinori Oda;Kazuma Ohki;Satoru Kawaguchi;Kohki Satoh;Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta;小森郷平，小田昭紀;小田昭紀，小森郷平;深井駿，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之;大木一真，小田昭紀;小森郷平，小田昭紀
• 通讯作者: 小森郷平，小田昭紀

Numerical Simulation on Spatiotemporal Behavior of Charged-Species in Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating

类金刚石碳涂层四甲基硅烷等离子体中带电物种时空行为的数值模拟

• 发表时间: 2014
• 作者: Akinori Oda;Satoru Kawaguchi;Kohki Satoh;Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
• 通讯作者: Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta

ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション

低压高频碳氢等离子体二维流体模拟类金刚石碳膜沉积

• 发表时间: 2016
• 作者: A. Oda and H. Kousaka;大木一真，小田昭紀;大野祐也，小田昭紀;深井駿，大野裕也，小田昭紀;小森郷平，小田昭紀;深井駿，大野裕也，小田昭紀;大木一真，小田昭紀
• 通讯作者: 大木一真，小田昭紀

質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断

使用质谱和探针诊断用于 DLC 沉积的碳氢化合物等离子体

• 发表时间: 2017
• 作者: A. Oda and H. Kousaka;大木一真，小田昭紀;大野祐也，小田昭紀
• 通讯作者: 大野祐也，小田昭紀

Mass Spectrometric Study on Hydrocarbon Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating

类金刚石碳涂层碳氢等离子体的质谱研究

• 发表时间: 2015
• 作者: A. Oda;S. Fukai;H. Kousaka and T. Ohta
• 通讯作者: H. Kousaka and T. Ohta