Fundamental Study on Research and Development of Diamond-Like Carbon Coating Technique using Atmospheric-Pressure Hydrocarbon Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition
Fundamental Study on Research and Development of Diamond-Like Carbon Coating Technique using Atmospheric-Pressure Hydrocarbon Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition
常压烃类等离子体辅助化学气相沉积类金刚石碳涂层技术研发基础研究
批准号：
26420247
负责人：
ODA Akinori
金额：
$3.24万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
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非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性と温度上昇に及ぼす誘電体材料の影響
介质材料对非平衡常压氦等离子体均匀性和温升的影响
介质材料对非平衡常压氦等离子体均匀性和温升的影响
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Akinori Oda, Kazuma Ohki, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta, 小森郷平，小田昭紀, 小田昭紀，小森郷平, 深井駿，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之, 大木一真，小田昭紀, 小森郷平，小田昭紀]
通讯作者：
小森郷平，小田昭紀
Numerical Simulation on Spatiotemporal Behavior of Charged-Species in Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating
类金刚石碳涂层四甲基硅烷等离子体中带电物种时空行为的数值模拟
类金刚石碳涂层四甲基硅烷等离子体中带电物种时空行为的数值模拟
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta]
通讯作者：
Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション
低压高频碳氢等离子体二维流体模拟类金刚石碳膜沉积
低压高频碳氢等离子体二维流体模拟类金刚石碳膜沉积
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[A. Oda and H. Kousaka, 大木一真，小田昭紀, 大野祐也，小田昭紀, 深井駿，大野裕也，小田昭紀, 小森郷平，小田昭紀, 深井駿，大野裕也，小田昭紀, 大木一真，小田昭紀]
通讯作者：
大木一真，小田昭紀
質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断
使用质谱和探针诊断用于 DLC 沉积的碳氢化合物等离子体
使用质谱和探针诊断用于 DLC 沉积的碳氢化合物等离子体
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[A. Oda and H. Kousaka, 大木一真，小田昭紀, 大野祐也，小田昭紀]
通讯作者：
大野祐也，小田昭紀
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[A. Oda, S. Fukai, H. Kousaka and T. Ohta]
通讯作者：
H. Kousaka and T. Ohta
共 25 条
Fundamental study on optimization of nanocarbon materials fabrication technique using an atmospheric-pressure plasma-assisted chemical vapor deposition
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批准号：23560325
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.33万
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财政年份：2011
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负责人：ODA Akinori
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依托单位：