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集束イオンビーム化学気相成長法による三次元ナノ構造作製の高精度化に関する研究

聚焦离子束化学气相沉积高精度制备三维纳米结构的研究

基本信息

批准号：
13J04726
负责人：
郭登極
金额：
$ 0.58万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2013
资助国家：
日本
起止时间：
2013 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は, ナノ・マイクロデバイスの作製ツールであるFIB-CVDによる立体ナノ構造形成の高自由度化・高精度化を目的とし, オーバーハング構造の形成によってイオン励起表面反応プロセスへの理解を深化させたうえ, 実時間照射量制御技術を開発し, 長尺オーバーハングナノワイヤや立体ナノ長尺構造の形成を達成した. これによって, FIB-CVDの実時間照射量制御技術は高自由度・高精度のナノ・マイクロデバイス作製への有用性を実証した. 具体的には,(1)イオン励起表面反応プロセスへの理解の深化立体構造形成の基本であるオーバーハング構造の形成を対象とし, 理論的にはシミュレーションを行ったうえ, 実験的には, オーバーハング構造形成途中におけるFIB照射位置とナノワイヤ先端部との幾何的関係を定量的に評価することによって, 斜め上方・側方水平・斜め下方といったオーバーハング構造の成長過程を明らかにした. これらはイオン励起表面反応プロセスの物理過程への理解に有用な知識を貢献した.(2)アナログスキャン実時間照射量制御技術による長尺オーバーハングナノワイヤの形成本研究は実時間照射量制御技術を開発し, アナログスキャンによる長尺オーバーハングナノワイヤの形成を可能とした. これによって, これまで実現できなかった空中配線構造を有するナノ・マイクロデバイスの作製が可能となった.(3)ドットスキャン実時間照射量制御技術による立体ナノ長尺構造の形成様々な三次元ナノ・マイクロデバイスの作製に対応するように, 本研究は実時間照射量制御技術をドットスキャン方式である従来の3D-CAM描画システムに組み込み, 長尺微細構造の形成を可能とした. これによって, これまで実現できなかった長尺微細構造を有するナノ・マイクロデバイスの作製が可能となった

In this study, the purpose of this study is to increase the degree of freedom and precision of the system. In this study, the purpose of this study is to improve the quality of the system. In this study, the purpose of this study is to create a high degree of freedom and high precision. In this study, the purpose of this study is to improve the understanding of the surface response, and to deepen the development of radiation control technology. Long feet, long feet. For example, FIB-CVD radiation control technology, high-degree-of-freedom and high-precision technology, high-degree-of-freedom, high-precision, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-degree-of-freedom, high-precision, high-precision, high-precision Specific information, (1) encourage the surface response to deepen the three-dimensional understanding of the formation of the basic structure, the formation of the image, the theory of the theory, the understanding of the surface, the depth of the understanding, the formation of the basic structure, the formation of the image, the theory of the theory. On the way to the formation of the FIB radiation position, there is a quantitative measurement of the radiation position of the end, the upper side and the lower side of the horizontal slope. It is necessary to encourage the surface response, the physical process, the understanding and the knowledge of the physical process. (2) the study of the cost of radiation control technology in the first half of the year. I don't know if it's possible to make a difference. In this connection, you can see that there is a problem in the air distribution system. It is possible to cause a problem. (3) it is possible to use the radiation control technology to make a three-dimensional instrument to form a three-dimensional device. In this study, the technology of controlling the amount of radiation is used to draw the system of the 3D-CAM system, and the long-scale and micro-scale is used to make the system. I don't know. I don't know.