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Ion Beam Analysis - Surrey
离子束分析 - 萨里
基本信息
- 批准号：752417
- 负责人：
- 金额：$ 0.64万
- 依托单位：
- 依托单位国家：英国
- 项目类别：Vouchers
- 财政年份：2015
- 资助国家：英国
- 起止时间：2015 至 无数据
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Ion Beam Analysis of thin silicon nitride membranes with nanometre scale thickness to provide detailed quantitative and traceable measurements of stoichiometry, density and other parameters.
离子束分析纳米级厚度的氮化硅薄膜，提供化学计量、密度和其他参数的详细定量和可追溯测量。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
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会议论文数量（0）
专利数量（0）
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