INSULATION OF IMPLANT DEVICES BY PLASMA POLYMER COATINGS

通过等离子体聚合物涂层对植入装置进行绝缘

基本信息

  • 批准号:
    3508731
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 34.69万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
  • 财政年份:
    1989
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    1989-09-01 至 1993-08-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

The users of miniature sensors and integrated circuits in implant applications have few options in choosing a process which can hermetically encapsulate selective areas of the devices against the corrosive action of body fluids. The goal of this program is to complete the development and testing of the plasma polymerization/vapor deposition processes which demonstrated hermetic encapsulation of saline immersed CMOS integrated circuits for over 300 days in the Phase I study and adapt these methodologies to selective deposition/removal of the films to broaden their available commercial markets. The proposed Phase II plan will investigate alternate processing techniques for removal of water vapor and contaminants from the substrates, evaluate processes for selective deposition/removal of the hermetic encapsulants, determine the dielectric and chemical nature of the new materials synthesized and examine changes which occur with long-term saline soaking and voltage stressing.
微型传感器和集成电路在植入中的应用 应用在选择可密封的工艺方面具有很少的选择, 密封器件的选择区域,以防止 体液 该计划的目标是完成开发和 等离子体聚合/气相沉积工艺的测试 展示了盐水浸泡CMOS集成的密封封装 电路超过300天的第一阶段研究,并适应这些 选择性地沉积/去除膜以拓宽其 现有的商业市场。 拟议的第二阶段计划将研究替代处理技术 为了从基材上去除水蒸气和污染物,评估 用于选择性沉积/去除密封性澄清剂的方法, 确定新材料的介电和化学性质 合成并检查长期盐水浸泡所发生的变化 和电压应力。

项目成果

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专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

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INSULATION OF IMPLANT DEVICES BY PLASMA POLYMER COATINGS
通过等离子体聚合物涂层对植入装置进行绝缘
  • 批准号:
    3501646
  • 财政年份:
    1989
  • 资助金额:
    $ 34.69万
  • 项目类别:
INSULATION OF IMPLANT DEVICES BY PLASMA POLYMER COATINGS
通过等离子体聚合物涂层对植入装置进行绝缘
  • 批准号:
    3508732
  • 财政年份:
    1989
  • 资助金额:
    $ 34.69万
  • 项目类别:
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