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Ellipsometric characterization of electronic thin films for device applications
用于设备应用的电子薄膜的椭偏表征
基本信息
- 批准号：241390-2001
- 负责人：
- 金额：$ 8.86万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
- 财政年份：2000
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2000-01-01 至 2001-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Sivoththaman, Sivanarayana其他文献
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