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Studies of industrial plasma processing problems in microelectronic manufacturing by novel laser infrared radiometric depth profilometric techniques

Studies of industrial plasma processing problems in microelectronic manufacturing by novel laser infrared radiometric depth profilometric techniques
通过新型激光红外辐射深度轮廓测量技术研究微电子制造中的工业等离子体处理问题
批准号：
5622-1999
负责人：
Mandelis, Andreas
金额：
$2.56万
依托单位：
University of Toronto
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2002
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2002-01-01 至 2003-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=206904
关键词：
Studiesindustrialplasmaprocessingproblems

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Diffusion-Wave and Photoacoustic Sciences and Technologies
  • 批准号：
    CRC-2015-00184
  • 项目类别：
    Canada Research Chairs
  • 资助金额：
    $7.29万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Mandelis, Andreas
  • 依托单位：
    University of Toronto
Development of advanced non-invasive dynamic photoacoustic and photothermal imaging technologies for biomedical and industrial diagnostics
  • 批准号：
    RGPIN-2020-04595
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.44万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Mandelis, Andreas
  • 依托单位：
    University of Toronto
Development of advanced non-invasive dynamic photoacoustic and photothermal imaging technologies for biomedical and industrial diagnostics
  • 批准号：
    RGPIN-2020-04595
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.44万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Mandelis, Andreas
  • 依托单位：
    University of Toronto
Diffusion-Wave And Photoacoustic Sciences And Technologies
  • 批准号：
    CRC-2015-00184
  • 项目类别：
    Canada Research Chairs
  • 资助金额：
    $14.57万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Mandelis, Andreas
  • 依托单位：
    University of Toronto
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