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Development of vacuum MEMS probe station for design and testing of MEMS resonant force sensors

Development of vacuum MEMS probe station for design and testing of MEMS resonant force sensors
开发用于 MEMS 谐振力传感器设计和测试的真空 MEMS 探针台
批准号：
329918-2006
负责人：
Mills, James
金额：
$4.73万
依托单位：
University of Toronto
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
财政年份：
2005
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2005-01-01 至 2006-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=294451
关键词：
DevelopmentvacuumMEMSprobestation

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Automation and Control of Micro-scale Biological Tasks: Single Cell Surgery
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04814
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $9.25万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Mills, James
  • 依托单位：
    University of Toronto
Automation and Control of Micro-scale Biological Tasks: Single Cell Surgery
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04814
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.63万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Mills, James
  • 依托单位：
    University of Toronto
Automation and Control of Micro-scale Biological Tasks: Single Cell Surgery
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04814
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.63万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Mills, James
  • 依托单位：
    University of Toronto
Automation and Control of Micro-scale Biological Tasks: Single Cell Surgery
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04814
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.63万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Mills, James
  • 依托单位：
    University of Toronto
国内基金
海外基金
变压吸附中真空脱附过程的传质传热规律研究
  • 批准号：
    20576028
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2005
  • 负责人：
    李立清
  • 依托单位：
    湖南大学