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Stress characterization of thin films for microsensor technologies

Stress characterization of thin films for microsensor technologies
微传感器技术薄膜的应力表征
批准号：
155350-1994
负责人：
Bhatnagar, Yashraj
金额：
$0.95万
依托单位：
University of Waterloo
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
1994
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
1994-01-01 至 1995-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=31444
关键词：
Stresscharacterizationthinfilmsmicrosensor

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Optical stress analysis equipment for thin film microsensor devices
  • 批准号：
    155263-1994
  • 项目类别：
    Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
  • 资助金额：
    $7.55万
  • 财政年份：
    1993
  • 负责人：
    Bhatnagar, Yashraj
  • 依托单位：
    University of Waterloo
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