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Knowledge-based Design and Process Optimization for Building Suspended Structures in MEMS
用于构建 MEMS 悬浮结构的基于知识的设计和工艺优化
基本信息
- 批准号：311582-2004
- 负责人：
- 金额：$ 1.19万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Collaborative Research and Development Grants
- 财政年份：2006
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2006-01-01 至 2007-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Zhang, Wenjun(Chris)其他文献
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