2-Beam white light lithography of 3-D microstructures
3D 微结构的 2 束白光光刻
基本信息
- 批准号:368954-2008
- 负责人:
- 金额:$ 0.33万
- 依托单位:
- 依托单位国家:加拿大
- 项目类别:University Undergraduate Student Research Awards
- 财政年份:2008
- 资助国家:加拿大
- 起止时间:2008-01-01 至 2009-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
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项目成果
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