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Development of an interferometric nanometrology programme for in-line measurement of surface profile for large flat surfaces and sub-surface defects for unpolished surfaces

Development of an interferometric nanometrology programme for in-line measurement of surface profile for large flat surfaces and sub-surface defects for unpolished surfaces
开发干涉纳米计量程序，用于在线测量大平面的表面轮廓和未抛光表面的亚表面缺陷
批准号：
312671-2005
负责人：
Narayanswamy, Sivakumar
金额：
$1.47万
依托单位：
Concordia University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2009
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2009-01-01 至 2010-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=428332
关键词：
Developmentinterferometricnanometrologyprogrammeline

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"Static, dynamic and surface characterization of bio and engineering materials"
  • 批准号：
    312671-2012
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.46万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    Narayanswamy, Sivakumar
  • 依托单位：
    Concordia University
"Static, dynamic and surface characterization of bio and engineering materials"
  • 批准号：
    312671-2012
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.46万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    Narayanswamy, Sivakumar
  • 依托单位：
    Concordia University
"Static, dynamic and surface characterization of bio and engineering materials"
  • 批准号：
    312671-2012
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.46万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Narayanswamy, Sivakumar
  • 依托单位：
    Concordia University
"Static, dynamic and surface characterization of bio and engineering materials"
  • 批准号：
    312671-2012
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.46万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    Narayanswamy, Sivakumar
  • 依托单位：
    Concordia University
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