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Development of an interferometric nanometrology programme for in-line measurement of surface profile for large flat surfaces and sub-surface defects for unpolished surfaces
开发干涉纳米计量程序，用于在线测量大平面的表面轮廓和未抛光表面的亚表面缺陷
基本信息
- 批准号：312671-2005
- 负责人：
- 金额：$ 1.47万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份：2009
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2009-01-01 至 2010-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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312671-2012 - 财政年份：2012
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$ 1.47万 - 项目类别：
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1000202152-2003 - 财政年份：2008
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Development of an interferometric nanometrology programme for in-line measurement of surface profile for large flat surfaces and sub-surface defects for unpolished surfaces
开发干涉纳米计量程序，用于在线测量大平面的表面轮廓和未抛光表面的亚表面缺陷
- 批准号：
312671-2005 - 财政年份：2008
- 资助金额：
$ 1.47万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Development of an interferometric nanometrology programme for in-line measurement of surface profile for large flat surfaces and sub-surface defects for unpolished surfaces
开发干涉纳米计量程序，用于在线测量大平面的表面轮廓和未抛光表面的亚表面缺陷
- 批准号：
312671-2005 - 财政年份：2007
- 资助金额：
$ 1.47万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Canada Research Chair in Laser Metrology and Laser Micromachining
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1000202152-2003 - 财政年份：2006
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- 批准号：
312671-2005 - 财政年份：2006
- 资助金额：
$ 1.47万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
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