Development of a new 2D/3D spectroscopic metrology infrastructure using 190nm-15um reflectometry for the development and monitoring of 200mm advanced MEMS materials
使用 190nm-15um 反射计开发新的 2D/3D 光谱计量基础设施,用于开发和监控 200mm 先进 MEMS 材料
基本信息
- 批准号:429696-2011
- 负责人:
- 金额:$ 1.46万
- 依托单位:
- 依托单位国家:加拿大
- 项目类别:Industrial R&D Fellowships (IRDF)
- 财政年份:2012
- 资助国家:加拿大
- 起止时间:2012-01-01 至 2013-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
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项目成果
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使用 190nm-15um 反射计开发新的 2D/3D 光谱计量基础设施,用于开发和监控 200mm 先进 MEMS 材料
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- 资助金额:
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Development of a new 2D/3D spectroscopic metrology infrastructure using 190nm-15um reflectometry for the development and monitoring of 200mm advanced MEMS materials
使用 190nm-15um 反射计开发新的 2D/3D 光谱计量基础设施,用于开发和监控 200mm 先进 MEMS 材料
- 批准号:
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Conception, fabrication et intégration de composantes photoniques pour un nouveau microsystème de diagnostic du cancer
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