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Development of a new 2D/3D spectroscopic metrology infrastructure using 190nm-15um reflectometry for the development and monitoring of 200mm advanced MEMS materials

Development of a new 2D/3D spectroscopic metrology infrastructure using 190nm-15um reflectometry for the development and monitoring of 200mm advanced MEMS materials
使用 190nm-15um 反射计开发新的 2D/3D 光谱计量基础设施，用于开发和监控 200mm 先进 MEMS 材料
批准号：
429696-2011
负责人：
Richard, Charles
金额：
$2.19万
依托单位：
Teledyne Dalsa
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Industrial R&D Fellowships (IRDF)
财政年份：
2013
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-01-01 至 2014-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=532815
关键词：
Developmentnew2D3Dspectroscopic

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Caractérisation de photodétecteurs
  • 批准号：
    536775-2018
  • 项目类别：
    University Undergraduate Student Research Awards
  • 资助金额：
    $0.33万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Richard, Charles
  • 依托单位：
    Université de Sherbrooke
Development of a new 2D/3D spectroscopic metrology infrastructure using 190nm-15um reflectometry for the development and monitoring of 200mm advanced MEMS materials
  • 批准号：
    429696-2011
  • 项目类别：
    Industrial R&D Fellowships (IRDF)
  • 资助金额：
    $0.73万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Richard, Charles
  • 依托单位：
    Teledyne Dalsa
Development of a new 2D/3D spectroscopic metrology infrastructure using 190nm-15um reflectometry for the development and monitoring of 200mm advanced MEMS materials
  • 批准号：
    429696-2011
  • 项目类别：
    Industrial R&D Fellowships (IRDF)
  • 资助金额：
    $1.46万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    Richard, Charles
  • 依托单位：
    Teledyne Dalsa
Conception, fabrication et intégration de composantes photoniques pour un nouveau microsystème de diagnostic du cancer
  • 批准号：
    348783-2007
  • 项目类别：
    Postgraduate Scholarships - Doctoral
  • 资助金额：
    $1.53万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    Richard, Charles
  • 依托单位：
    Université de Sherbrooke
国内基金
海外基金
脊髓新鉴定SNAPR神经元相关环路介导SCS电刺激抑制恶性瘙痒
  • 批准号：
    82371478
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    48.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    焦英甫
  • 依托单位：
    上海交通大学
tau轻子衰变与新物理模型唯象研究
  • 批准号：
    11005033
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    18.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    李文君
  • 依托单位：
    河南师范大学
HIV gp41的NHR区新靶点的确证及高效干预
强子对撞机上新物理信号的多轻子末态研究
  • 批准号：
    10675110
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    36.0万元
  • 批准年份：
    2006
  • 负责人：
    蒋一
  • 依托单位：
    中国科学技术大学