刷新
Process development for low-pressure chemical vapor deposition of low-stress silicon-nitride and in-situ doped polysilicon thin films on 200 mm wafers in a novel vertical furnace
在新型立式炉中在 200 mm 晶圆上低压化学气相沉积低应力氮化硅和原位掺杂多晶硅薄膜的工艺开发
基本信息
- 批准号：419878-2011
- 负责人：
- 金额：$ 2.19万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Industrial R&D Fellowships (IRDF)
- 财政年份：2012
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2012-01-01 至 2013-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
No summary - Aucun sommaire
没有摘要-Aucun Sommaire
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
Belarbi, Khaled其他文献
A new T-S fuzzy model predictive control for nonlinear processes
- DOI：
10.1016/j.eswa.2017.06.039 - 发表时间：
2017-12-01 - 期刊：
- 影响因子：8.5
- 作者：
Boulkaibet, Ilyes;Belarbi, Khaled;Chadli, Mohammed - 通讯作者：
Chadli, Mohammed
Belarbi, Khaled的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('Belarbi, Khaled', 18)}}的其他基金
Process development for low-pressure chemical vapor deposition of low-stress silicon-nitride and in-situ doped polysilicon thin films on 200 mm wafers in a novel vertical furnace
在新型立式炉中在 200 mm 晶圆上低压化学气相沉积低应力氮化硅和原位掺杂多晶硅薄膜的工艺开发
- 批准号：
419878-2011 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 2.19万 - 项目类别：
Industrial R&D Fellowships (IRDF)
Process development for low-pressure chemical vapor deposition of low-stress silicon-nitride and in-situ doped polysilicon thin films on 200 mm wafers in a novel vertical furnace
在新型立式炉中在 200 mm 晶圆上低压化学气相沉积低应力氮化硅和原位掺杂多晶硅薄膜的工艺开发
- 批准号：
419878-2011 - 财政年份：2011
- 资助金额：
$ 2.19万 - 项目类别：
Industrial R&D Fellowships (IRDF)
相似国自然基金
协同视角下政府环境审计对低碳经济发展的影响研究
- 批准号：72362035
- 批准年份：2023
- 资助金额：27 万元
- 项目类别：地区科学基金项目
中国牧区绿色低碳高质量发展的实现机制研究——基于技术和政策双轮驱动视角
- 批准号：72373059
- 批准年份：2023
- 资助金额：41 万元
- 项目类别：面上项目
城市群发展对中国经济低碳转型的影响：理论机制与政策优化
- 批准号：72373015
- 批准年份：2023
- 资助金额：41 万元
- 项目类别：面上项目
低碳发展对中国西北地区经济格局的影响效应研究
- 批准号：72373060
- 批准年份：2023
- 资助金额：41 万元
- 项目类别：面上项目
数据要素化与数字技术对绿色低碳发展的影响：理论机制、作用路径与政策优化
- 批准号：72373165
- 批准年份：2023
- 资助金额：41.00 万元
- 项目类别：面上项目
相似海外基金
Examining the multilevel factors on quality of end-of-life care among cancer patients in Puerto Rico
检查影响波多黎各癌症患者临终关怀质量的多层次因素
- 批准号：
10557584 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.19万 - 项目类别：
Implementing SafeCare Kenya to Reduce Noncommunicable Disease Burden: Building Community Health Workers' Capacity to Support Parents with Young Children
实施 SafeCare Kenya 以减少非传染性疾病负担：建设社区卫生工作者支持有幼儿的父母的能力
- 批准号：
10672785 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.19万 - 项目类别：
Hyperpolarized 129Xe MRI to identify structural determinants of low lung function and respiratory symptoms in young adults from the Lung Health Cohort
超极化 129Xe MRI 用于识别肺健康队列中年轻人低肺功能和呼吸道症状的结构决定因素
- 批准号：
10639640 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.19万 - 项目类别：
The Causal Impact of Poverty Reduction on Housing Conditions of Low-Income, U.S. Children and the Role of Housing and Neighborhood Ecosystems on Young Children's Healthy Development
减贫对美国低收入儿童住房条件的因果影响以及住房和邻里生态系统对幼儿健康发展的作用
- 批准号：
10678527 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.19万 - 项目类别：
Peru Vanderbilt – PREvention through VacciNation Training (PREVENT) program
秘鲁范德比尔特 — 通过疫苗接种培训进行预防 (PREVENT) 计划
- 批准号：
10674393 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.19万 - 项目类别：