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Nanostructure and device fabrication using SPM (scanning probe microscope) lithography
使用 SPM（扫描探针显微镜）光刻技术制造纳米结构和器件
基本信息
- 批准号：412039-2010
- 负责人：
- 金额：$ 0.73万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Industrial Postgraduate Scholarships
- 财政年份：2013
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2013-01-01 至 2014-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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