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Commissioning and characterization of films deposited with a novel magnetron sputtering/pulsed laser deposition system

Commissioning and characterization of films deposited with a novel magnetron sputtering/pulsed laser deposition system
使用新型磁控溅射/脉冲激光沉积系统沉积的薄膜的调试和表征
批准号：
459262-2013
负责人：
Pépin, Henri
金额：
$1.82万
依托单位：
Institut national de la recherche scientifique
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Engage Grants Program
财政年份：
2013
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-01-01 至 2014-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=542214
关键词：
Commissioningcharacterizationfilmsdepositednovel

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Plasmionique Inc. is a Canadian leader in the development and manufacturing of plasma-based deposition
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