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Developing a Process for High Aspect Ratio AFM Tip Sharpening
开发高深宽比 AFM 尖端锐化工艺
基本信息
- 批准号：503494-2016
- 负责人：
- 金额：$ 1.82万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Engage Grants Program
- 财政年份：2016
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2016-01-01 至 2017-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Atomic force microscope (AFM) is widely used for topographical structure characterization in semiconductor,
原子力显微镜（AFM）被广泛用于半导体表面形貌的表征，
项目成果
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专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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Miao, Guoxing其他文献
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{{ truncateString('Miao, Guoxing', 18)}}的其他基金
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- 批准号：
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- 批准号：
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$ 1.82万 - 项目类别：
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Spin-filter based nano devices for information processing
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- 批准号：
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- 批准号：
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- 批准号：
262050-2013 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 1.82万 - 项目类别：
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Goal and Aspect-oriented Business Process Engineering (GAoBPE)
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- 批准号：
262050-2013 - 财政年份：2015
- 资助金额：
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Goal and Aspect-oriented Business Process Engineering (GAoBPE)
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- 批准号：
262050-2013 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 1.82万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
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26330375 - 财政年份：2014
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- 批准号：
262050-2013 - 财政年份：2013
- 资助金额：
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Antinomy Between Commercialization Process of Lawyer System and Professionalism of Lawyers: On Public Aspect of Lawyer System
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- 批准号：
25380137 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 1.82万 - 项目类别：
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光刻与相分解高深宽比纳米加工相结合的工艺
- 批准号：
23656446 - 财政年份：2011
- 资助金额：
$ 1.82万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research