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New precursors for low-temperature thermal atomic layer deposition (ALD) of the late transition metals
后过渡金属低温热原子层沉积（ALD）的新前驱体
基本信息
- 批准号：554093-2020
- 负责人：
- 金额：$ 1.27万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Alexander Graham Bell Canada Graduate Scholarships - Master's
- 财政年份：2020
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2020-01-01 至 2021-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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