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Development of a High Intensity Source of Atomic Nitrogen for Semiconductor Doping and Plasma and Atmospheric Physics Applications; to support visit by J.M. Woolsey, University of Sterling, U.K.
开发用于半导体掺杂以及等离子体和大气物理应用的高强度原子氮源；
基本信息
- 批准号：130925-1992
- 负责人：
- 金额：$ 0.28万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：International: Foreign Researcher (H)
- 财政年份：1992
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1992-01-01 至 1993-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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