本项目以纳米尺度放电加工方法为对象，研究其在纳米尺度下实现加工的新现象和新机理。构建了基于扫描探针显微镜的纳米放电加工实验平台，探索了纳米尺度放电过程的现象和加工特性，加工获得了直径为10 nm到100 nm尺度的蚀坑。还探索了基于场致射流原理的微纳米放电加工方法，可以有效解决电极损耗问题。针对纳米尺度间隙放电特有的尺度限制，分别采用了PIC/MCC粒子模拟研究了加工过程中纳米放电通道的特性，与微米尺度放电通道进行对比；采用了FEM模拟构建针尖-间隙-样品模型，定性和半定量地研究了纳米放电加工中的关键过程参数对于样品材料蚀除的影响；采用了分子动力学方法模拟了纳米放电加工过程中原子间的相互作用和运动轨迹。项目从工艺试验和模拟计算两方面出发，验证了纳米放电加工的可行性和优越性，优化了纳米放电加工的过程参数，深入研究了纳米放电加工过程的机理和特性。该项目培养博士生一名，硕士生一名，发表SCI/EI及国际会议论文共7篇。