课题基金 / 基金详情

氧化锌基单晶薄膜材料、物性及器件研究

批准号:
60336020
项目类别:
重点项目
资助金额:
200.0 万元
负责人:
申德振
学科分类:
半导体光电子器件与集成
结题年份:
2007
批准年份:
2003
项目状态:
已结题
项目参与者:
刘益春、吕有明、郑著宏、张振中、赵东旭、单崇新、梁红伟、金华、康俊勇

项目摘要

结项摘要

项目成果

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中文摘要
通过利用高频等离子体辅助分子束外延(RFPAMBE)及等离子体增强技术有机化学气相沉积(PEMOCVD) 技术开展生长ZnO单晶薄膜以及通过共掺杂方法制备低阻p型ZnO材料的研究,获得高质量的ZnO单晶薄膜和低阻p型ZnO。在此基础上,开展ZnO基超晶格及光波导结构的最佳优化设计及其激子的发光特性、激子的光增益特性以及激子的光电特性的机理研究,进一步揭示激子发光过程的物理本质并提供实现低阈值光泵浦
英文摘要
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专利列表
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