聚焦离子束制备4H-SiC功能缺陷：加工、表征与模拟
批准号：
--
项目类别：
国际(地区)合作与交流项目
资助金额：
--
负责人：
徐宗伟
依托单位：
学科分类：
无机非金属半导体与信息功能材料
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
徐宗伟
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