本项目紧密围绕制造平台建设、基础研究、制备工艺优化和性能表征四个研究方向展开，1)建立了碳纳米管(Carbon nanotube, CNT)探针的高精度多自由度制造平台，实现高分辨在线观测、纳米操纵、局部诱导沉积固定和纳米管参数优化等关键功能，优化平台设计提高制备效率；2)基于理论计算、振幅-相位-形貌分析和扫描电镜在线观测，探究了CNT探针对陡峭位置的成像假象形成机理，研究了CNT探针的纳米尺度力学效应，为其高分辨率成像提供了重要依据。3) 系统研究了CNT探针组装法制备工艺、电子束诱导Pt沉积工艺，提出了一种基于电子束局部诱导沉积刚度增强技术，实现了大长径比且性能稳定的CNT探针制造；研究了聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)纳米制造的核心工艺，提出了一种基于FIB离子注入原位气体辅助刻蚀技术、一种有效校正FIB像散方法，完成了CNT探针长度和角度的高精度调控研究，最终获得了长度和横向刚度可控性好、角度控制精度优于1°的纳米管探针制备。4)针对矩形槽、狭缝和纳米点阵等典型微结构，开展了CNT探针的原子力显微表征研究，探究了CNT探针的极限分辨率，验证了局部诱导沉积刚度增强技术CNT探针在表征大深宽比结构时的高精度和高稳定性，可稳定获得82°侧壁陡峭度形貌表征（垂直于探针扫描方向）。项目的开展解决了CNT原子力显微镜探针的制备及参数优化中的关键难题，对CNT探针的表征应用和机理研究起到了重要的推进作用。.出版英文专著2部，发表期刊论文15篇，其中在国际学术期刊CIRP Annals、Optics Express等SCI收录11篇、EI收录14篇，他引22次，3项授权发明专利，2次国际会议特邀报告，2项国际会议奖，已培养研究生4名。获得天津大学“北洋学者•青年骨干教师计划”、教育部“博士研究生学术新人奖”、研究生国家奖学金等奖励称号。2012年本项目成功获得青年-面上连续资助。.通过三年多的研究工作，已完成项目计划研究内容。此外，还针对CNT探针在制备和表征应用中出现的新现象和新问题，如CNT探针对样品-探针间作用力更敏感、局部诱导沉积刚度增强技术等，展开了系统研究。在项目实施过程中，提炼了FIB纳米制造技术中存在的多个关键科学问题，包括纳米尺寸效应、材料加工工艺性和离子注入损伤，相关研究工作将在已获得青年-面上连续资助项目中系统研究和展开。