非中性准分子XUV光谱及其动力学机制研究
批准号:
69178021
项目类别:
面上项目
资助金额:
4.5 万元
负责人:
王骐
依托单位:
学科分类:
激光
结题年份:
1994
批准年份:
1991
项目状态:
已结题
项目参与者:
周赤、邢达、胡连海、李思宁
放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究
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批准号:60838005
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项目类别:重点项目
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资助金额:200.0万元
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批准年份:2008
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负责人:王骐
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依托单位:
氩离子准分子光腔效应最佳条件及动力学研究
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批准号:60178005
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项目类别:面上项目
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资助金额:18.0万元
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批准年份:2001
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负责人:王骐
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依托单位:
毛细管放电软X射线激光研究
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批准号:60038010
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项目类别:重点项目
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资助金额:110.0万元
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批准年份:2000
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负责人:王骐
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依托单位:
超短脉冲光场感应电离台上软X射线激光研究
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批准号:69688003
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项目类别:专项基金项目
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资助金额:12.3万元
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批准年份:1996
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负责人:王骐
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依托单位:
[Ar2+Ar]2+离子准分子短波长激光振荡
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批准号:69488001
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项目类别:专项基金项目
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资助金额:9.5万元
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批准年份:1994
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负责人:王骐
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依托单位:
钠跃迁激光及动力学过程研究
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批准号:69078003
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项目类别:面上项目
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资助金额:4.0万元
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批准年份:1990
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负责人:王骐
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依托单位:
国内基金
海外基金