课题基金 / 基金详情

氩离子准分子光腔效应最佳条件及动力学研究

批准号:
60178005
项目类别:
面上项目
资助金额:
18.0 万元
负责人:
王骐
依托单位:
学科分类:
激光
结题年份:
2004
批准年份:
2001
项目状态:
已结题
项目参与者:
赵永蓬、刘金成、王振胥、高劭宏

项目摘要

结项摘要

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中文摘要
离子准分子是获得低激发阈、短波长激光的重.体系。氩的第三谱带来、源于氩离子准分子的跃.。因而对氩离子准分子光腔效应的研究,既可.推动所有稀有气体第三谱带的研究,又可以推.其它离子准分子体系实现激光振荡的研究。.研究内容:实验上利用电子束横向泵浦、加谐.腔观察氩离子准分子光腔效应,选择其最佳条.;理论上对离子准分子形成的动力学过程分析.离子准分子是获得低激发阈、短波长激光的重.体系。氩的第三谱带来、源于氩离子准分子的跃.。因而对氩离子准分子光腔效应的研究,既可.推动所有稀有气体第三谱带的研究,又可以推.其它离
英文摘要
放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究
  • 批准号:
    60838005
  • 项目类别:
    重点项目
  • 资助金额:
    200.0万元
  • 批准年份:
    2008
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
毛细管放电软X射线激光研究
  • 批准号:
    60038010
  • 项目类别:
    重点项目
  • 资助金额:
    110.0万元
  • 批准年份:
    2000
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
超短脉冲光场感应电离台上软X射线激光研究
  • 批准号:
    69688003
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    12.3万元
  • 批准年份:
    1996
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
[Ar2+Ar]2+离子准分子短波长激光振荡
  • 批准号:
    69488001
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    9.5万元
  • 批准年份:
    1994
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
国内基金
海外基金