毛细管放电软X射线激光研究

批准号:
60038010
项目类别:
重点项目
资助金额:
110.0 万元
负责人:
王骐
依托单位:
学科分类:
F0506.激光
结题年份:
2005
批准年份:
2000
项目状态:
已结题
项目参与者:
彭惠民、杨大为、李思宁、刘鹏、陈德应、郑无敌、单玉生、夏元钦、张新陆
关键词:
国基评审专家1V1指导 中标率高出同行96.8%
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中文摘要
开展毛细管高电压、大电流快放电产生等离子体柱中软X射线激光机理理论和实验研究,探讨获得密度分布均匀细长等离子体柱增益区的途径。实现能量>20mJ、效率10-6、波长<50nm的激光饱和输出。通过超长毛细管放电进一步提高输出能量。探索更短波长毛细管放电泵浦激光体系。为建立和普及小型台式、高效实用的软X射线激光打下基础。
英文摘要
专著列表
科研奖励列表
会议论文列表
专利列表
放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究
- 批准号:60838005
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:200.0万元
- 批准年份:2008
- 负责人:王骐
- 依托单位:
氩离子准分子光腔效应最佳条件及动力学研究
- 批准号:60178005
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:18.0万元
- 批准年份:2001
- 负责人:王骐
- 依托单位:
超短脉冲光场感应电离台上软X射线激光研究
- 批准号:69688003
- 项目类别:专项基金项目
- 资助金额:12.3万元
- 批准年份:1996
- 负责人:王骐
- 依托单位:
[Ar2+Ar]2+离子准分子短波长激光振荡
- 批准号:69488001
- 项目类别:专项基金项目
- 资助金额:9.5万元
- 批准年份:1994
- 负责人:王骐
- 依托单位:
非中性准分子XUV光谱及其动力学机制研究
- 批准号:69178021
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:4.5万元
- 批准年份:1991
- 负责人:王骐
- 依托单位:
钠跃迁激光及动力学过程研究
- 批准号:69078003
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:4.0万元
- 批准年份:1990
- 负责人:王骐
- 依托单位:
国内基金
海外基金
