课题基金 / 基金详情

毛细管放电软X射线激光研究

批准号：
60038010
项目类别：
重点项目
资助金额：
110.0 万元
负责人：
王骐
依托单位：
哈尔滨工业大学
学科分类：
激光
结题年份：
2005
批准年份：
2000
项目状态：
已结题
项目参与者：
彭惠民、杨大为、李思宁、刘鹏、陈德应、郑无敌、单玉生、夏元钦、张新陆
关键词：
毛细管放电.等离子体.X光激光

项目摘要

结项摘要

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中文摘要
开展毛细管高电压、大电流快放电产生等离子体柱中软Ｘ射线激光机理理论和实验研究，探讨获得密度分布均匀细长等离子体柱增益区的途径。实现能量>20mJ、效率10-6、波长<50nm的激光饱和输出。通过超长毛细管放电进一步提高输出能量。探索更短波长毛细管放电泵浦激光体系。为建立和普及小型台式、高效实用的软Ｘ射线激光打下基础。
英文摘要
放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究
  • 批准号：
    60838005
  • 项目类别：
    重点项目
  • 资助金额：
    200.0万元
  • 批准年份：
    2008
  • 负责人：
    王骐
  • 依托单位：
    哈尔滨工业大学
氩离子准分子光腔效应最佳条件及动力学研究
  • 批准号：
    60178005
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    18.0万元
  • 批准年份：
    2001
  • 负责人：
    王骐
  • 依托单位：
    哈尔滨工业大学
超短脉冲光场感应电离台上软X射线激光研究
  • 批准号：
    69688003
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    12.3万元
  • 批准年份：
    1996
  • 负责人：
    王骐
  • 依托单位：
    哈尔滨工业大学
[Ar2+Ar]2+离子准分子短波长激光振荡
  • 批准号：
    69488001
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    9.5万元
  • 批准年份：
    1994
  • 负责人：
    王骐
  • 依托单位：
    哈尔滨工业大学
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