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毛细管放电软X射线激光研究
结题报告
批准号:
60038010
项目类别:
重点项目
资助金额:
110.0 万元
负责人:
王骐
依托单位:
学科分类:
F0506.激光
结题年份:
2005
批准年份:
2000
项目状态:
已结题
项目参与者:
彭惠民、杨大为、李思宁、刘鹏、陈德应、郑无敌、单玉生、夏元钦、张新陆
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中文摘要
开展毛细管高电压、大电流快放电产生等离子体柱中软X射线激光机理理论和实验研究,探讨获得密度分布均匀细长等离子体柱增益区的途径。实现能量>20mJ、效率10-6、波长<50nm的激光饱和输出。通过超长毛细管放电进一步提高输出能量。探索更短波长毛细管放电泵浦激光体系。为建立和普及小型台式、高效实用的软X射线激光打下基础。
英文摘要
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专利列表
放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究
  • 批准号:
    60838005
  • 项目类别:
    重点项目
  • 资助金额:
    200.0万元
  • 批准年份:
    2008
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
氩离子准分子光腔效应最佳条件及动力学研究
  • 批准号:
    60178005
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    18.0万元
  • 批准年份:
    2001
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
超短脉冲光场感应电离台上软X射线激光研究
  • 批准号:
    69688003
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    12.3万元
  • 批准年份:
    1996
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
[Ar2+Ar]2+离子准分子短波长激光振荡
  • 批准号:
    69488001
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    9.5万元
  • 批准年份:
    1994
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
非中性准分子XUV光谱及其动力学机制研究
  • 批准号:
    69178021
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    4.5万元
  • 批准年份:
    1991
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
钠跃迁激光及动力学过程研究
  • 批准号:
    69078003
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    4.0万元
  • 批准年份:
    1990
  • 负责人:
    王骐
  • 依托单位:
国内基金
海外基金