课题基金基金详情
EUV光刻机光源靶滴喷射精密控制的基础研究
批准号：
52075475
项目类别：
面上项目
资助金额：
58 万元
负责人：
胡亮
依托单位：
浙江大学
学科分类：
E0502.传动与驱动
结题年份：
--
批准年份：
2020
项目状态：
未结题
项目参与者：
胡亮
关键词：
基础研究靶滴喷射光刻机精密控制
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面向10nm以下线宽集成电路制造的超高通量微液滴生成机制研究
  • 批准号：
    LY19E050015
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    0.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    胡亮
  • 依托单位：
    浙江大学
浸没流场动态润湿行为与残留液渍控制的基础研究
  • 批准号：
    51575476
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    63.0万元
  • 批准年份：
    2015
  • 负责人：
    胡亮
  • 依托单位：
    浙江大学
基于头外空间磁场重构的脑控信息反演
  • 批准号：
    51105329
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    胡亮
  • 依托单位：
    浙江大学
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