半导体激光器列阵集成技术基础研究
批准号:
68786007
项目类别:
专项基金项目
资助金额:
5.0 万元
负责人:
余金中
依托单位:
学科分类:
半导体器件物理
结题年份:
1990
批准年份:
1987
项目状态:
已结题
项目参与者:
硅光子学的材料、器件和应用
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批准号:60620001
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项目类别:专项基金项目
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资助金额:20.0万元
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批准年份:2006
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负责人:余金中
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依托单位:
激光辅助CVD生长太赫兹SiGe量子级联超晶格结构
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批准号:60576001
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项目类别:面上项目
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资助金额:26.0万元
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批准年份:2005
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负责人:余金中
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依托单位:
UV-UHV/CVD法SiGe/Si选区原子层外延研究
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批准号:69746001
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项目类别:专项基金项目
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资助金额:10.0万元
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批准年份:1997
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负责人:余金中
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依托单位:
国内基金
海外基金