UV－UHV／CVD法SiGe/Si选区原子层外延研究
批准号：
69746001
项目类别：
专项基金项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
余金中
依托单位：
学科分类：
半导体光电子器件与集成
结题年份：
2000
批准年份：
1997
项目状态：
已结题
项目参与者：
王启明、朱家廉、成步文、于卓、司俊杰、罗丽萍、张春晖
关键词：
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依托单位：
国内基金
海外基金