UV－UHV／CVD法SiGe/Si选区原子层外延研究
批准号：
69746001
项目类别：
专项基金项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
余金中
依托单位：
中国科学院半导体研究所
学科分类：
F0403.半导体光电子器件与集成
结题年份：
2000
批准年份：
1997
项目状态：
已结题
项目参与者：
王启明、朱家廉、成步文、于卓、司俊杰、罗丽萍、张春晖
关键词：
紫外光超高真空CVD原子层外延光电子学
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硅光子学的材料、器件和应用
  • 批准号：
    60620001
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2006
  • 负责人：
    余金中
  • 依托单位：
    中国科学院半导体研究所
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  • 批准号：
    68786007
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    5.0万元
  • 批准年份：
    1987
  • 负责人：
    余金中
  • 依托单位：
    中国科学院半导体研究所
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