带控制栅极单纳米冷阴极原型器件阵列的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60771055
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:29.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0122.物理电子学
- 结题年份:2010
- 批准年份:2007
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2008-01-01 至2010-12-31
- 项目参与者:柯彦淋; 郑新国; 张国富; 姚日晖; 朱联烽; 何浩; 刘俊; 欧海;
- 关键词:
项目摘要
本课题研究带控制栅极的单根纳米线场发射器件阵列,它在平行电子束光刻及高精度平板显示器等领域有重要应用。其中平行电子束光刻是纳米器件制造中用于制作大面积纳米图形的一项关键技术,可以克服单电子束光刻产率低的问题。目前,人们主要关注单根碳纳米管冷阴极,碳纳米管虽然场发射性能优越,但刚性差,物性均匀性难以控制,带栅极单根碳纳米管冷阴极阵列制作难度较大。氧化锌(ZnO)纳米线是有潜力的场发射材料,利用单根ZnO纳米线阵列有可能在单纳米冷阴极器件研究上取得突破。本课题以获得硅基上带栅极单根ZnO纳米线冷阴极原型器件阵列为目的,开展适合于器件应用的单根ZnO纳米线阵列的制备、栅极制作方法及栅极结构与单根ZnO纳米线集成的研究,获得原型器件阵列。重点针对平行电子束光刻应用的要求,研究冷阴极阵列的场发射特性,获得实现低压选址驱动、小电子束斑、均匀发射和高发射电流密度的关键技术。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(4)
专利数量(3)
Field Electron Emission Characteristics and Physical Mechanism of Individual Single-Layer Graphene
单层石墨烯的场电子发射特性及物理机制
- DOI:10.1021/nn101719r
- 发表时间:2010-11-01
- 期刊:ACS NANO
- 影响因子:17.1
- 作者:Xiao, Zhiming;She, Juncong;Xu, Ningsheng
- 通讯作者:Xu, Ningsheng
Ultrathin seed-layer for tuning density of ZnO nanowire arrays and their field emission characteristics
用于调节 ZnO 纳米线阵列密度及其场发射特性的超薄种子层
- DOI:10.1021/jp8015563
- 发表时间:2008-08-07
- 期刊:JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C
- 影响因子:3.7
- 作者:Liu, Jun;She, Juncong;Xu, Ningsheng
- 通讯作者:Xu, Ningsheng
Correlation between Resistance and Field Emission Performance of Individual ZnO One-Dimensional Nanostructures
单个 ZnO 一维纳米结构的电阻与场致发射性能之间的相关性
- DOI:10.1021/nn800283u
- 发表时间:2008-10-01
- 期刊:ACS NANO
- 影响因子:17.1
- 作者:She, Juncong;Xiao, Zhiming;Xu, Ningsheng
- 通讯作者:Xu, Ningsheng
Three-dimensional six-fold symmetry ZnO sub-microstructures
三维六重对称ZnO亚微结构
- DOI:10.1016/j.jcrysgro.2008.11.096
- 发表时间:2009-02
- 期刊:Journal of Crystal Growth
- 影响因子:1.8
- 作者:Liu, Jun;Feng, Liwen;Chen, Jun;She, Juncong;Xu, Ningsheng;Deng, Shaozhi
- 通讯作者:Deng, Shaozhi
Field-induced hot-electron emission model for wide-band-gap semiconductor nanostructures
宽带隙半导体纳米结构的场致热电子发射模型
- DOI:10.1063/1.3481061
- 发表时间:2010-09
- 期刊:Journal of Applied Physics
- 影响因子:3.2
- 作者:Xu, N.S.;She, J.C.;Zeng, J.Z.;Deng, S.Z.;He, H.
- 通讯作者:He, H.
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其他文献
Coplanar-gate ZnO nanowire feld emitter arrays with enhanced gate-control performance using a ring-shaped cathode
使用环形阴极增强栅极控制性能的共面栅极 ZnO 纳米线场发射体阵列
- DOI:--
- 发表时间:2018
- 期刊:Scientific Reports
- 影响因子:4.6
- 作者:赵龙;陈毅聪;张志鹏;曹秀清;张国富;佘峻聪;邓少芝;许宁生;陈军
- 通讯作者:陈军
其他文献
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