超硬质纳米复合膜及其低温沉积技术研究
结题报告
批准号：
50572063
项目类别：
面上项目
资助金额：
28.0 万元
负责人：
李铸国
依托单位：
上海交通大学
学科分类：
E0203.碳素材料与超硬材料
结题年份：
2008
批准年份：
2005
项目状态：
已结题
项目参与者：
华学明、吴毅雄、俞海良、王广伟、杨倩、赵良磊
关键词：
纳米复合膜低温沉积高密度低能量离子束..超硬质
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中文摘要
超硬质纳米复膜是一类硬度可以达到或超过金刚石的新型保护薄膜彩，具有很好的应用前景，近年来应起了世界范围内的广泛关注。但是，目前硬度可比金刚石的超硬质纳米复合膜仅能采用PACVD方法合成，而且超硬机理不明。基于保护环境的理由，低温物理气相沉积方法更适合于大规模工业合成。本项目的主要研究目标就是：采用物理气相沉积技术低温合成具有低残应力的和具有等轴结构的超硬质纳米复合膜。拟采用内置式诱导型耦合等离子体
英文摘要
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High-flux ion irradiation with energy of ∼20eV affecting phase segregation and low-temperature growth of nc‐TiN∕a‐Si3N4 nanocomposite films
DOI：10.1116/1.2784718
发表时间：2007-09
期刊：Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：--
作者：Z. Li;Y. X. Wu;S. Miyake
通讯作者：Z. Li;Y. X. Wu;S. Miyake
Effect of Low-Energy Ion Flux Irradiation on Synthesis of Superhard Nanocomposite Films
DOI：10.1143/jjap.45.7866
发表时间：2006-10
期刊：Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：1.5
作者：Zhuguo Li;S. Miyake;Yixiong Wu
通讯作者：Zhuguo Li;S. Miyake;Yixiong Wu
Effect of Copper Doping on Structure and Properties of TiN Films Prepared by Magnetron Sputtering Assisted by Low-energy Ion Flux Irradiation
铜掺杂对低能离子束辐照辅助磁控溅射TiN薄膜结构与性能的影响
DOI：--
发表时间：--
期刊：
影响因子：--
作者：
通讯作者：
Microstructure and properties of nanocrystalline titanium monoxide films synthesized by inductively coupled plasma assisted reactive direct current magnetron sputtering
电感耦合等离子体辅助反应直流磁控溅射纳米晶一氧化钛薄膜的微观结构与性能
DOI：10.1016/j.apsusc.2008.07.108
发表时间：2008-12
期刊：Applied Surface Science
影响因子：6.7
作者：
通讯作者：
低能量离子束辐照磁控溅射沉积超硬质nc-TiN/nc-Cu纳米复合薄膜
DOI：--
发表时间：--
期刊：金属学报.42.993-997,2006
影响因子：--
作者：
通讯作者：
铜材蓝色激光-近红外扫描激光复合焊接缺陷调控及晶粒细化机理研究
  • 批准号：
    52375355
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    50万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    李铸国
  • 依托单位：
    上海交通大学
镍基高温合金厚板激光焊接熔凝瞬态行为与裂纹形成关联机制研究
  • 批准号：
    51775338
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    57.0万元
  • 批准年份：
    2017
  • 负责人：
    李铸国
  • 依托单位：
    上海交通大学
激光熔覆超高强韧贝氏体涂层的纳米结构调控与性能研究
  • 批准号：
    51171116
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    60.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    李铸国
  • 依托单位：
    上海交通大学
高功率半导体激光熔覆铁基非晶涂层的机理与性能研究
  • 批准号：
    50971091
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    32.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    李铸国
  • 依托单位：
    上海交通大学
国内基金
海外基金